专利名称：一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及基于宽带光源和级连光波导滤波器的光波导传感器，尤其是涉及一种 基于级连环形腔的光波导传感器。
背景技术：
光传感技术作为信息科学技术的一个重要分支，在工业过程控制、环境监测、食品 安全和国家安全等方面有着十分重要的应用。光传感技术可解决电传感技术存在的灵敏度 低、易受干扰、感应时间较长、检测某些化学气体不安全等方面的问题。光传感器具有灵敏 度高、体积小、抗电磁干扰能力强、便于集成、可在线检测的优点，在传感领域占有越来越重 要的地位。光波导传感器件的基本原理是基于光纤或平面波导的界面/表面所出现的倏逝 波，由于倏逝波透出波导的表面(接触待测物质)并会返同波导中，并影响波导中传输光的 特性，因此探测波导中传输光的变化可实现光传感。环形谐振腔因其具有尖锐的谐振峰，可以实现高灵敏度而备受关注。图1给出了 基于单个环形谐振腔的光波导传感器结构示意图。模式折射率的变化引起环形谐振腔透射 谱的移动，通过测量透射峰的波长移动或在透射峰附近某个固定波长的光的能量变化就能 测定被测物质的变化° K. De Vos etal, "Silicon-on-Insulat or microring resonator for sensitive and label-freebiosensing，，，Optics Express 15, pp. 7610-7615 (2007)。 这个方法的缺点是测量透射峰的波长移动需要一个价格昂贵的光谱仪，其测量精度与光谱 仪的精度直接相关。如果用测量透射峰附近某个固定波长光能量变化的方法，则需要一个 窄线宽的激光器作为光源，而且激光器的波长要与谐振环的透射峰有精确的相对位置，而 且要非常稳定。这些要求都大大增加了测量装置的成本，降低了可靠性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器，使用 LED等成本低廉的宽光源作为输入光源，通过测量全光谱输出光的强度(无需探测光谱信 息)的变化来探测被测物质、被测量的变化，而且对光源和系统的稳定性要求也大大降低。本发明解决其技术问题采用的技术方案是技术方案1 一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器，其特征在于它包含宽带光源、与宽带光源相耦合的输入波导、与输入波导相耦合的参照环形谐振腔、与参照环形谐振 腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感谐振腔相耦合的输出 波导、与输入波导相耦合测其出射光功率的第一光功率计；所述参照环形谐振腔与传感环 形谐振腔的光学长度相同，所述的参照环形谐振腔的光学长度使得它的谐振频率对应于一 系列等间隔的工作频率，所述传感环形谐振腔的光学长度使得它的谐振频率与参照环形谐 振腔的谐振频率一一对应重合；传感环形谐振腔中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。所述的所有波导与环形谐振腔之间的耦合是通过方向耦合器或通过各自的多模干涉耦合器进行耦合。所述所有波导及环形谐振腔是平面集成光波导。所述所有波导及环形谐振腔是由光纤构成。所述宽带光源是发光二极管。输入波导的另一端与第二光功率计相耦合。所述被测变量为应力或温度，所述被测物质为液体或气体。技术方案2:其特征在于包括依次相耦合的宽带光源、输入波导、参照光学滤波器、连接波导、 传感光学滤波器、输出波导、光功率计；所述的参照光学滤波器的透射频率对应于一系列等 间隔的工作频率，所述传感光学滤波器的透射频率与参照光学滤波器的透射频率一一对应 重合；传感光学滤波器中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包 层与被测物质接触。所述的所有波导及光学滤波器是由光纤构成或由平面集成光波导构成。所述的光学滤波器是由一个或多个马赫_曾德干涉仪构成；或者是由阵列波导光 栅构成；或者是由法布里_珀罗干涉仪构成。本发明具有的有益效果是通过使用相同腔长的级联双环的滤波效应，将传感环形腔谐振谱的移动转变为总 出射谱上所有峰值能量的同步变化，再通过测量全光谱范围内输出光强度的变化来测定被 测物质或被测量的变化。输入光源采用LED等价格低廉的宽光源，而无需采用价格昂贵的 调谐激光器，并且探测的是全光谱范围内的能量，而无需监控波长或使用高分辨率光谱仪， 大大降低了成本，简单易行。与此同时也增加了灵敏度，物质折射率变化可探测最小量达 3· 9X 1(Γ7。
图1是背景技术中基于单个环形谐振腔的光波导传感器示意图。图2是本发明第一种实施方式结构示意3是本发明第一种实施方式透射谱示意图。图4是本发明第一种实施方式被测物质变化后透射谱示意图。图5(a)为LED光源光谱曲线(b)为本发明第一种实施方式LED光源下的总输出 谱(c)为本发明第一种实施方式LED光源下被测物质变化后的总输出谱。图6是非传感区与传感区波导横截面示意图。图7是第一种实施方式给出的实例的TM总输出光强及TE模总输出光强的变化8是本发明第二种实施方式结构示意图。图9是本发明第三种实施方式结构示意图。图中1、输入波导，2、输出波导，3、连接波导，10、参照环形谐振腔，20、传感环形谐 振腔，51、多模干涉耦合器，52、多模干涉耦合器，53、多模干涉耦合器，54、多模干涉耦合器， 41、光功率计，42、光功率计，101、参照光学滤波器，102、传感光学滤波器。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。实施例1
图2是本发明的第一个实施方式示意图。它包含宽带光源0、与宽带光源相耦合的 输入波导1、与输入波导1相耦合的参照环形谐振腔10、与参照环形谐振腔10相耦合的连 接波导3，与连接波导3相耦合的传感环形谐振腔20，与传感谐振腔20相耦合的输出波导 2，测输入波导1另一端出射功率的功率计41，测输出波导2出射功率的功率计42，所述参 照环形谐振腔10与传感环形谐振腔20的光学长度相同，所述的参照环形谐振腔10的光学 长度使得它的谐振频率对应于一系列等间隔的工作频率，所述传感环形谐振腔20的光学 长度使得它的谐振频率与参照环形谐振腔10的谐振频率一一对应完全重合；传感环形谐 振腔20中至少有一部分波导(例如取虚线框内)受到应力、温度等被测变量影响作用或其 包层与被测物质接触。应力、温度等被测变量的影响作用会引起传感环形谐振腔20的光学 长度变化或者被测物质的折射率等性质的变化通过倏逝波影响传感环形谐振腔20的光学 长度，引起其谐振峰位置的变化，通过两谐振腔的级联滤波效应将此谐振峰位置的变化转 化总输出谱上所有峰的强度的高灵敏度同步变化，从而通过利用功率计42探测输出波导2 中光信号的强度信息就可以获得被测变量或被测物质的折射率和浓度等信息。光功率计41 的作用是探测输入波导1直通端的功率(接近光源功率的恒定值)。如果光源功率不稳定， 则可以通过光功率计42与光功率计41的比值变化来测量被测量，以消除光源功率波动带 来的误差。图2中所有波导与环形谐振腔之间的耦合通过方向耦合器实现。当宽带光源0进入输入波导1向右传播的光到达波导与参照环形谐振腔10耦合 的区域时，会有一部分光侧向耦合到环里，并在里面发生谐振，由于环的自干涉作用，只有 当参照环形谐振腔10的光程(光程为环的长度乘以其折射率)满足光波长的整数倍时(该 波长称为环的谐振波长)，该波长的光波才能被从联接波导中耦合出来，向左继续传播，其 余大部分光能量将会从输入波导右的端口出射。同理，从连接波导3向左传播的光波的波 长也必须满足传感环形谐振腔20的谐振条件才能通过传感环形谐振腔20并从输出波导2 输出。环形谐振腔振幅透射系数为
—C2ejkon7lR
“ 1 —(1)式中c表示环与波导间的耦合系数，n, R分别表示环的折射率和半径。Ictl是光波 在真空中的波数。由(1)式可以得到环形谐振器的谐振条件2η π R = m λ(2)其中λ是环的谐振波长，m是某个正整数。由于两个环的腔长相同，故其透射谱相同(自由光谱FSR相同)；由于两个环串级 联，所以总透射谱为T = T1XT2(3)
具有相乘效应，其中T1 = I ti I2jT2= 11212分别为传感环形谐振腔10，参照环形谐 振腔20的透射谱。图3给出了第一个实施方式参照环形谐振腔10，传感环形谐振腔20各自的透射谱 (a)以及总的透射谱(b)。参照环形谐振腔10谐振的波长，传感环形谐振腔20也谐振，所 以总输出谱上同样达到最大。当传感环形谐振腔20受到应力、温度变化等作用时其光学长度会发生变化，或其 包层物质有变化时，由于包层内倏逝波的作用，会引起环10波导模式有效折射率发生变 化，进而也引起光学长度变化。据 <formula>formula see original document page 6</formula>Λ L传感环形谐振腔10的透射谱Tl会发生移动。如图4所示(a)原先Tl与T2的 一一对应的峰有了错位，(b)表现在总透射谱上就是所有峰值功率都下降。如果采用LED作为宽带光源0，其光谱曲线如图5(a)所示，总的出射光谱如图 5(b)所示，Tl发生移动后总的出射光谱如图5(c)所示。可以通过测量整个光谱围内的总 光功率的变化来探测被测变量或被测物质的变化。如果波导结构选用条型波导，基于SOKsilicon-on-insulator)平台，波导芯层 高度0. 22um,宽度lum，芯层折射率3. 48，衬底折射率1. 444。对于TM模，模式有效折射率 neff变化量相对于包层折射率η。变化量的比值为dneff/dnc = 43% for TM(5)对于TE模，模式有效折射率Iieff变化量相对于包层折射率η。变化量的比值为dneff/dnc =15% for TE(6)图6给出了用于物质测量时波导横截面示意图。(a)给出了非传感区波导横截面， 上包层可选用Su-8胶或二氧化硅等材料或与被测物质相当的参考物质，同时也起保护作 用；(b)给出了传感区波导横截面，上包层为被测物质，被测物质的变化引起波导模式折射
率变化。两环的半径取为140um，环与直波导之间能量耦合系数取10%，损耗设为ldb/cm， LED光源能量设为lmw。图7给出了被测物质折射率从1. 33变化到1. 33+2. 02X 10_3时，TM模总输出光能 量的变化，以及被测物质折射率从1. 33变化到1. 33+5. 84X ΙΟ"3时，TE模总输出光能量的 变化。由图可以看出，随着被测物质折射率变化(Tl移动)，因为T1、T2中同一级次的谐振 峰逐渐错开，总输出光能量逐渐减小。经计算TM模最高灵敏度(斜率最高)达到25600dB/ RIU,与探测精度为0. OldB的探测器结合，则可以探测的最小折射率变化为3. 9 X 10_7 ；TE模 最高灵敏度达到8700dB/RIU，与探测精度为0. OldB的探测器结合，则可以探测的最小折射 率变化为1. 15Χ10ΛTE, TM模式的探测灵敏度不同是由于它们各自的有效折射率Iieff变化相对于包层 折射率η。变化的敏感度不同，以及模式色散不同。相比较而言TM模灵敏度高，探测范围�。� TE模灵敏度低，探测范围大。实际应用中，可以用适当的偏振分离器将LED出射光的两个等 功率偏振态分别送入两个独立的级联环传感器，形成两个探测通道。根据探测精度及范围 要求可以选择不同的通道，或将两者结合同时达到高灵敏度和大测量范围。
实施例2 图8为本发明第二种实施方式结构示意图。它包含宽带光源0、与宽带光源相耦合 的输入波导1、与输入波导相耦合的参照环形谐振腔10、与参照环形谐振腔10相耦合的连 接波导3，与连接波导3相耦合的传感环形谐振腔20，与传感谐振腔20相耦合的输出波导 2，测输入波导1另一端出射功率的光功率计41，测输出波导2出射功率的光功率计42，所 述参照环形谐振腔10与传感环形谐振腔20的光学长度相同，所述的参照环形谐振腔10的 光学长度使得它的谐振频率对应于一系列等间隔的工作频率，所述传感环形谐振腔20的 光学长度使得它的谐振频率与参照环形谐振腔10的谐振频率一一对应基本重合；传感环 形谐振腔20中至少有一部分波导(例如取虚线框内)受到应力、温度等被测变量影响作用 或其包层与被测物质接触。应力、温度等被测变量的影响作用会引起传感环形谐振腔20的 光学长度变化或者被测物质的折射率等性质的变化通过倏逝波影响传感环形谐振腔20的 光学长度，引起其谐振峰位置的变化，通过两谐振腔的级联滤波效应将此谐振峰位置的变 化转化总输出谱上所有峰的强度的高灵敏度同步变化，从而通过利用光功率计42探测输 出波导2中光信号的强度信息就可以获得被测变量或被测物质的折射率和浓度等信息。光 功率计41的作用是探测输入波导1直通端的功率(接近光源功率的恒定值)。如果光源功 率不稳定，则可以通过光功率计42与光功率计41的比值变化来测量被测量，以消除光源功 率波动带来的误差。图8中所有波导与环形谐振腔之间的耦合通过各自的多模干涉耦合器51、52、53、 54实现。上述实施例主要讨论了光波导和环型谐振腔是基于平面光波导的情况。本发明中 所述的光波导和环型谐振腔也可以是基于光纤或微纳光纤结构，光纤环谐振腔与输入/输 出及连接光纤之间的耦合可通过融接方法或倏逝波耦合的方法实现。用光纤结构具有对偏 振非敏感的优点。用微纳光纤制作的微环结构可以增大谐振峰之间的间隔，增大谐振环长 度相对容差。实施例3:本发明中的环型谐振腔是起到一个光学滤波器的作用，具有高品质因子(Q值) 的优点，但环型谐振腔可以由一个马赫-曾德(Mach-Zehnder)干涉仪、阵列波导光栅、 布拉格光栅或法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉仪等滤波器来代替，其中法布里-珀罗 (Fabry-Perot)干涉仪可以由两个布拉格光栅构成。如图9所示，包括宽带光源0、与宽带光源耦合的输入波导1、与输入波导相耦合的参照光学滤波器101、与参照光学滤波器101相耦合的连接波导3，与连接波导3相耦合的 传感光学滤波器102，与传感光学滤波器102相耦合的输出波导2，测输出功率的光功率计 42，所述的参照光学滤波器101的透射频率对应于一系列等间隔的工作频率，所述传感光 学滤波器102的透射频率与参照光学滤波器101的透射频率一一对应基本重合；传感光学 滤波器102中至少有一部分波导受到应力、温度等被测变量影响作用或其包层与被测物质 接触。应力、温度等被测变量的影响作用或者被测物质的折射率等性质的变化会引起传感 光学滤波器102透射频率的变化，通过两光学滤波器的级联滤波效应将此透射频率的变化 转化总输出谱上所有峰的强度的高灵敏度同步变化，从而通过利用功率计42探测输出波 导2中光信号的强度信息就可以获得被测变量或被测物质的折射率和浓度等信息。
上述实施例用来解释说明本发明，而不是对本发明进行限制。在本发 明的精神和 权利要求的保护范围内，对本发明作出的任何修改和改变，都落入本发明的保护范围。
权利要求
一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器，其特征在于它包含宽带光源(0)、与宽带光源(0)相耦合的输入波导(1)、与输入波导相耦合的参照环形谐振腔(10)、与参照环形谐振腔(10)相耦合的连接波导(3)、与连接波导(3)相耦合的传感环形谐振腔(20)、与传感谐振腔(20)相耦合的输出波导(2)、与输入波导(2)相耦合测其出射光功率的第一光功率计(42)；所述参照环形谐振腔(10)与传感环形谐振腔(20)的光学长度相同，所述的参照环形谐振腔(10)的光学长度使得它的谐振频率对应于一系列等间隔的工作频率，所述传感环形谐振腔(20)的光学长度使得它的谐振频率与参照环形谐振腔(10)的谐振频率一一对应重合；传感环形谐振腔(20)中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。
2.根据权利要求1所述的一种光传感器，其特征在于所述的所有波导与环形谐振腔 之间的耦合是通过方向耦合器或通过各自的多模干涉耦合器进行耦合。
3.根据权利要求1所述的一种光传感器，其特征在于所述所有波导及环形谐振腔是 平面集成光波导。
4.根据权利要求1所述的一种光传感器，其特征在于所述所有波导及环形谐振腔是 由光纤构成。
5.根据权利要求1所述的一种光传感器，其特征在于所述宽带光源是发光二极管。
6.根据权利要求1所述的一种光传感器，其特征在于所述输入波导(1)的另一端与 第二光功率计(41)相耦合。
7.根据权利要求1所述的一种光传感器，其特征在于所述被测变量为应力或温度，所 述被测物质为液体或气体。
8.一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器，其特征在于包括依次相耦 合的宽带光源(0)、输入波导(1)、参照光学滤波器(101)、连接波导(3)、传感光学滤波器 (102)、输出波导(2)和光功率计(42)；所述的参照光学滤波器(101)的透射频率对应于一 系列等间隔的工作频率，所述传感光学滤波器(102)的透射频率与参照光学滤波器(101) 的透射频率一一对应重合；传感光学滤波器(102)中至少有一部分波导受到被测变量影响 作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。
9.根据权利要求8所述的一种光传感器，其特征在于所述的所有波导及光学滤波器 是由光纤构成或由平面集成光波导构成。
10.根据权利要求8或9所述的一种光传感器，其特征在于所述的光学滤波器是由一 个或多个马赫-曾德干涉仪构成；或者是由阵列波导光栅构成；或者是由法布里-珀罗干 涉仪构成。
全文摘要
本发明公开了一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器。它包含宽带光源、输入波导、与输入波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感环形谐振腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的参照环形谐振腔，与参照谐振腔相耦合的输出波导、两个光功率计。传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度相同，传感环形谐振腔的所有谐振频率与参照环形谐振腔的所有谐振频率一一对应重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。被测变量影响作用或被测物质变化引起谐振谱的移动，通过等长双谐振腔的级联滤波效应可将此移动转换为透射总输出功率的变化，从而简单有效地检测被测量。
文档编号G01L1/24GK101825480SQ20101010476
公开日2010年9月8日 申请日期2010年1月29日 优先权日2010年1月29日
发明者何建军, 金磊 申请人:浙江大学
专业数控铣床产品供应商
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