专利名称：用于干式真空机组的水流检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于干式真空机组技术领域，具体地说是一种用于干泵真空机组的水 流检测装置。
背景技术：
随着信息产业的发展、半导体行业方兴未艾，与之相关的产业更是蓬勃发展，而半 导体行业的各种设备离不开真空获得装置，因此干式真空机组因其洁净无油，维护周期长 等优势在半导体行业的真空获得领域有很好的应用前景，干式真空机组的泵体冷却对于机 组正常工作极其重要，对于机组抽不同的真空气氛，泵的冷却水流量不同，同时要求对低于 一定水流量具有断水报警功能，冷却水含有杂质或者设备与水发生电化反应产生胶体进而 造成水流检测装置堵死或者水流不畅，所以要求水流检测装置易于维护和保养。
实用新型内容针对上述存在的技术问题，本实用新型提供一种用于干式真空机组的水流检测装 置，它是以玻璃壳体为主体，内设浮子，并加装针阀来调节水流量，通过接近传感器检测浮 子位置，进而实现断水报警。本实用新型采用的技术方案如下.一种用于干式真空机组的水流检测装置，其特征在于包括玻璃壳体、针阀、螺 母、浮子及进、出水口，所述的玻璃壳体内开有锥形腔和与所述锥形腔相通的进、出水口、用 于安装针阀的通道，针阀的针端伸入进水口，所述针阀与锥形腔垂直，在锥形腔内设有浮 子，螺母安装于锥形腔的端口，在玻璃壳体外壁上安装有与报警器连接的检测浮子高度的 接近传感器。所述的玻璃壳体内固定有导轨，浮子置于导轨上。所述的玻璃壳体上带有刻度。本实用新型的技术方案是与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果1.本实用新型采用有机玻璃壳体为主体，易于加工，在有机玻璃壳体上加装针阀 来调节水流量，通过水流量的调节来适合不同的真空环境。在玻璃壳体内垂直于针阀方向 开有大坡比锥形腔，在锥锥形腔内设置不锈钢浮子，利用水流对浮子的作用，水流越大，浮 子向上移动越高，通过玻璃壳体上的刻度，测量水流量的大小。在玻璃壳体上安装的接近传 感器，用于检测浮子位置，进而实现断水报警。2.本实用新型易于加工、拆卸和维护，各个部件利用螺纹安装在一起，非常容易拆 卸和维护，做到一个扳手和一个螺丝刀就可维护。3.本实用新型克服玻璃转子流量计大坡比管难于吹制，加工繁琐，成品率低，易碎 的缺点，通过玻璃壳体内的大坡比锥形腔就可以实现干式真空机组对冷却水流量的要求， 耐用、易于加工、成本低，检测可靠，进而发挥机组的性能。
图1为本实用新型的结构示意图。图中1.针阀，2.玻璃壳体，3.浮子，4.导轨，5.锥形腔，6.螺母，7.出水口，8.固 定架，9.进水口，10.通道，11.固定架。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步详细说明。实施例如图1所示，本实用新型包括玻璃壳体2、针阀1、螺母6、浮子3及进、出 水口 9、7，所述的玻璃壳体2内开有锥形腔5和与所述锥形腔5相通的进、出水口 9、7、用于 安装针阀1的通道10，针阀1的针端伸入进水口 9，所述针阀1与锥形腔5垂直，在锥形腔 5内设有浮子3，螺母6安装于锥形腔5的端口，在玻璃壳体2外壁上安装有与报警器连接 的检测浮子高度的接近传感器。本例中所述的玻璃壳体2内通过固定架11固定有导轨4，其导轨4为光杆，浮子置 于导轨4上。所述的玻璃壳体2上还带有刻度，用于观察水位。所述接近传感器高度根据 设备需要冷却水的流量设置，所述的接近传感器可长距离检测。本实用新型的工作过程水从进水口 9流入，通过针阀1来调节水流量，水流进入玻璃壳体2的锥形腔5内， 利用水流对浮子3的作用，水流越大，浮子向上移动越高，通过玻璃壳体2上的刻度，测量水
流量的大�。ü诓ＡЭ翘�2上安装的接近传感器检测浮子3所在的位置，实现断水报
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权利要求1.一种用于干式真空机组的水流检测装置，其特征在于包括玻璃壳体、针阀、螺母、 浮子及进、出水口，所述的玻璃壳体内开有锥形腔和与所述锥形腔相通的进、出水口、用于 安装针阀的通道，针阀的针端伸入进水口，所述针阀与锥形腔垂直，在锥形腔内设有浮子， 螺母安装于锥形腔的端口，在玻璃壳体外壁上安装有与报警器连接的检测浮子高度的接近 传感器。
2.根据权利要求1所述的用于干式真空机组的水流检测装置，其特征在于所述的玻 璃壳体内固定有导轨，浮子置于导轨上。
3.根据权利要求1所述的用于干式真空机组的水流检测装置，其特征在于所述的玻 璃壳体上带有刻度。
专利摘要一种用于干式真空机组的水流检测装置，属于干式真空机组技术领域。包括玻璃壳体、针阀、螺母、浮子及进、出水口，所述的玻璃壳体内开有锥形腔和与所述锥形腔相通的进、出水口、用于安装针阀的通道，针阀的针端伸入进水口，所述针阀与锥形腔垂直，在锥形腔内设有浮子，螺母安装于锥形腔的端口，在玻璃壳体外壁上安装有与报警器连接的检测浮子高度的接近开关。本实用新型通过在玻璃壳体上加装针阀来调节水流量，以适应不同的真空环境；在玻璃壳体上安装用于检测浮子位置的接近开关，进而实现断水报警，本实用新型易于加工、拆卸、维护、耐用、成本低，检测可靠，进而发挥机组的性能。
文档编号G01F1/52GK201885759SQ20102064453
公开日2011年6月29日 申请日期2010年12月7日 优先权日2010年12月7日
发明者张利国, 张宁, 李良进 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
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