专利名称：测试�？椤⒉馐宰爸眉安馐苑椒�
技术领域：
本发明，涉及测试模块，测试装置及测试方法。本发明特别涉及对用于被测试器件的测试的测试程序压缩并存储的测试�？椋馐宰爸眉安馐苑椒�。本申请，与下列日本申请相关联，主张来自下列日本申请的优先权。对于认可通过文献的参照而援引的指定国，下列申请记载的内容通过参照的方式将编入本申请，作为本申请的一部分。1.专利申请2008-247690申请日2008年9月洸日
背景技术：
测试装置，按照测试程序进行成为测试对象的被测试器件(DUT=Device Under Test)的测试。测试程序，在每个命令周期中，包含测试装置应该执行的命令、对被测试器件的各端子输出的测试图案或与从被测试器件的各端子输出的输出图案比较的期望值图案。以前，以降低测试程序的数据量为目的，使用的测试装置是通过采用重复命令压缩测试程序的测试装置。譬如，作为重复命令执行IDXI命令，根据作为操作数被指定的次数，可以对DUT的各端子重复同一测试图案的输出。即，在以前的测试装置中，对全端子，在多个命令周期之间持续采用同样的图案时，使用重复命令减小测试程序的大小。再者，比如专利文献1，公开了在测试图案存储器中，针对每个命令独立存储测试方式的测试图案列或通常方式的测试图案列的测试装置。这样，在测试图案存储器中存储适合于DUT的动作方式的形式的图案列，能够有效地压缩测试程序。在先技术文献专利文献专利文献1专利公开2006-58251号公报发明的概要发明预解决的问题可是，随着近几年的电子器件的高速化，被电子器件输入输出的信号的传输速率飞速提高。要想测试这样的电子器件，需要更高速地产生测试图案或期望值图案的测试装置。在这里，通过缩短执行测试程序的命令周期，而使测试装置的性能飞跃性地提高是困难的。因此，现在，通过在1命令周期之间供给多个测试图案或期望值图案，实现一边比较低速地执行命令，一边高速生成图案的测试装置是可行的。如果在这样的测试装置中采用使用重复命令的压缩方式的话，对于全端子，只在持续用多个命令周期之间完全相同的图案列的时候能够压缩，而在即使是一部分不同的图案列的情况下也不能压缩。因此，仅采用使用重复命令的压缩方式时，存在压缩效率下降，存储测试程序的存储器区域不足的可能性。因此，在本发明的1个侧面中，以提供能够解决上述课题的测试�？椤⒉馐宰爸眉安馐苑椒ㄎ康�。该目的由权利要求中的独立项记载的特征组合而达成。另外从属项规定了本发明的更有利的具体例。
发明内容
解决问题的技术手段为了解决上述课题，在本发明的第1方式中，提供一种测试�？椋ㄑ顾跣畔⒋娲⒉浚娲⒍喔鲅顾跣畔ⅲ创娲⒍杂ν及噶泻陀糜谑侗鹜及噶械耐及噶惺侗鹦畔⒍杂Φ难顾跣畔ⅲ换就及复娲⒉浚喔鏊鐾及噶惺葑魑蝗夯就及复娲ⅲ猛及噶惺萦朊疃杂Π及噶谢蛘咄及噶惺侗鹦畔⑹荩恢甘拘畔⒋娲⒉浚娲⒂糜谥甘净就及傅拇硭承虻闹甘拘畔ⅲ谎≡癫浚友顾跣畔⒋娲⒉克娲⒌亩喔鲅顾跣畔⒅醒≡裨谥甘拘畔⑺甘镜淖魑矶韵蟮幕就及钢惺褂玫难≡裱顾跣畔ⅲ换就及付脸霾浚踊就及复娲⒉慷脸鲎魑矶韵蟮幕就及钢兴耐及噶惺荩煌及噶卸脸霾浚被就及付脸霾克脸龅耐及噶惺葜邪送及噶惺侗鹦畔⑹保握昭≡癫垦≡竦难≡裱顾跣畔ⅲ脸鲇胪及噶惺侗鹦畔⒍杂Φ耐及噶校煌及甘涑霾浚涑龌就及付脸霾慷脸龅耐及噶惺葜邪耐及噶校蚴涑鲇胪及噶卸脸霾慷脸龅耐及噶惺侗鹦畔⒍杂Φ耐及噶�。在第1方式中，还可以具有基本图案信息存储部，与基本图案对应存储用于识别基本图案的处理中使用的压缩信息的压缩信息识别信息；选择部能够参照压缩信息识别信息而选择选择压缩信息；压缩信息存储部，能存储的压缩信息，作为压缩信息还包含指定图案列的重复次数的次数信息；图案输出部，只用次数信息指定的重复次数重复输出图案列； 压缩信息存储部，能存储包含作为图案列，预先定义的既定图案列或在每个压缩信息中定义的任意图案列的压缩信息；压缩信息存储部，在存储作为图案列包含任意图案列的同时， 将识别多个任意图案列的全体的单一的图案列识别信息作为表示多个任意图案列数目的次数信息而存储；图案输出部，只输出次数信息指定的数目的多个任意图案列。压缩信息存储部，可以存储每个输入或输出的通道的图案列及图案列识别信息作为压缩信息；图案输出部，能对每个通道输出图案列。压缩信息存储部，作为图案列，存储高速模式图案列或低速模式图案列的同时，作为图案列识别信息，存储识别图案列是高速模式图案列还是低速模式图案列的图案识别信息。压缩信息存储部，作为压缩信息中包含的所述图案列，存储高速模式图案列的同时，作为图案列识别信息，存储可指定一地址空间的短位图案列识别信息或比一地址空间大的地址空间可指定的长位图案列识别信息；作为短位图案列识别信息所识别的图案列，可分配预先定义的使用频度高的高频度既定图案列； 作为长位图案列识别信息所识别的图案列，可分配比预先定义的高频度既定图案列的使用频度低的低频度既定图案列。压缩信息存储部，可存储是高速模式图案列和在每个压缩信息被定义的任意图案列作为压缩信息中包含的全部的图案列，存储空数据作为图案列识别 fn息ο在本发明的第2方式中，提供一种测试装置，包括压缩信息存储部，存储多个压缩信息，即存储图案列及用于识别图案列的图案列识别信息对应的压缩信息；基本图案存储部，将多个所述图案列数据作为一群基本图案存储，该图案列数据与命令对应包含图案列或者图案列识别信息；指示信息存储部，存储用于指示基本图案的处理顺序的指示信息； 选择部，从压缩信息存储部所存储的多个压缩信息中选择指示信息所指示的作为处理对象的基本图案使用的选择压缩信息；基本图案读出部，从基本图案存储部读出作为处理对象
6的基本图案中所包含的图案列数据；图案列读出部，当基本图案读出部所读出的图案列数据中包含图案列识别信息时，参照选择部选择的选择压缩信息，读出与图案列识别信息对应的图案列；图案输出部，输出基本图案读出部读出的图案列数据中包含的图案列，或输出与图案列读出部读出的图案列识别信息对应的图案列。在本发明的第3方式中，提供一种测试方法，包括压缩信息存储步骤，存储多个压缩信息，即存储图案列及用于识别图案列的图案列识别信息对应的压缩信息；基本图案存储步骤，将多个所述图案列数据作为一群基本图案存储，该图案列数据对应于命令包含图案列或者图案列识别信息；指示信息存储步骤，存储指示基本图案的处理顺序的指示信息；选择步骤，从在压缩信息存储步骤存储的多个压缩信息中选择指示信息所指示的作为处理对象的基本图案使用的选择压缩信息；基本图案读出步骤，读出处理对象的基本图案中包含的图案列数据；图案列读出步骤，当在基本图案读出步骤读出了图案列数据中包含图案列识别信息时，参照选择部选择的选择压缩信息，读出与图案列识别信息对应的图案列；图案输出步骤，输出在基本图案读出步骤读出的图案列数据中包含的图案列，或输出与在图案列读出步骤读出的图案列识别信息对应的图案列。另外，上述发明的概要，并未列举出本发明的必要的特征的全部，这些的特征群的子结合也能够成本发明。
图1表示本实施方式涉及的测试�？�10构成。图2表示本实施方式涉及的序列图案生成部142及序列图案生成部146的构成。图3表示本实施方式涉及的压缩信息的一个例子。图4表示本实施方式涉及的测试程序的一个例子。图5表示本实施方式涉及的测试程序的压缩形式。图6表示本实施方式的变形例涉及的图案压缩信息的一个例子。图7表示将本实施方式的再变形例涉及的图案压缩信息的一个例子。图8表示本实施方式的再变形例涉及的图案压缩信息的一个例子。图9表示本实施方式的再变形例涉及的图案压缩信息的一个例子。图10表示本实施方式的再变形例涉及的图案压缩信息的一个例子。实施方式以下，通过发明的实施方式说明本发明的(一)侧面，不过，以下的实施方式并不限定权利要求范围所涉及的发明，另外，在实施方式中说明的特征组合并非全部都是发明的解决手段所必须的。图1，表示有关本实施方式的测试�？�10构成。测试�？�10可以被使用在测试具有1或多个端子的DUTlOO的测试装置上，具有主存储器102、中央图案控制部112和多个通道块130。主存储器102，存储DUT100测试程序的同时，记录执行测试程序后的结果DUT100 输出的输出图案。主存储器102具有命令存储器104、多个测试图案存储器106和多个期望值图案存储器108以及数字捕获存储器110。命令存储器104存储测试程序中包含的各命令。
测试图案存储器106，可以是基本图案存储部的一个例子。测试图案存储器106， 将与命令对应含图案列或者图案列识别信息的图案列数据，以多个图案列数据为一群基本图案存储。多个测试图案存储器106，分别与DUT100各端子对应设置，与各命令对应，在每个端子存储执行该命令的命令周期期间中所使用的测试图案列。在这里，测试图案列可以是图案列的一个例子。比如，当测试�？�10在每1命令周期产生32比特的信号，并对 DUT100输出时，测试图案存储器106，存储与各命令对应，在1命令周期中输出的32比特的信号对应的32个的测试图案的测试图案列。期望值图案存储器108，可以是基本图案存储部的一个例子。期望值图案存储器 108，以多个图案列数据为一群基本图案存储与命令对应包含图案列或图案列识别信息的图案列数据。多个期望值图案存储器108，分别与DUT100各端子对应设置，存储与各命令对应，在每个端子在执行该命令的命令周期中使用的期望值图案列。在这里，期望值图案列， 可以是图案列的一个例子，包含在命令周期期间中被DUT100端子依次输出的多个输出图案和应该依次被比较的多个期望值图案。数字捕获存储器110，记录执行测试程序后的结果 DUT100输出的输出图案。在以上中，命令存储器104、多个测试图案存储器106、多个期望值图案存储器 108、和/或数字捕获存储器110，可以分割为构成主存储器102的个别的存储�？槎柚茫� 也可以作为同样的存储�？槟诓煌募且淝柚�。中央图案控制部112被主存储器102及多个通道块130连接，在DUT100各端子进行共同的处理。中央图案控制部112具有图案清单存储器114、矢量生成控制部116、中央捕获控制部120和图案结果存储器122。图案清单存储器114，可以是指示信息存储部的一个例子。图案清单存储器114， 存储指示基本图案的处理顺序的指示信息。图案清单存储器114，对于测试程序的主例程或各子例程，分别存储命令存储器104中的该例程的开始/结束地址、测试图案存储器106中的测试图案的开始地址、在期望值图案存储器108中的期望值图案的开始地址等。矢量生成控制部116可以是命令执行部的一个例子，每个命令周期，依次执行 DUT100测试程序中包含的命令。更具体，矢量生成控制部116，在每个例程，从图案清单存储器114依次读出从开始地址到结束地址的各命令，依次执行。中央捕获控制部120，从各通道块130接收每个DUT100端子的好坏判断结果，合计每个例程的DUT100好坏判断结果。图案结果存储器122存储每个例程的DUT100好坏判断结果。多个通道块130可各自对应DUT100各端子设置。各通道块130，具有通道图案生成部140、定时生成部160、驱动器170和比较仪180。通道图案生成部140，生成使用于该端子的测试的测试图案列或期望值图案列，进行DUT100输出图案列及期望值图案列的比较。通道图案生成部140包含既定图案存储器 118、序列图案生成部142、格式控制部144、序列图案生成部146、搜索及比较部148、失效捕获控制部150和失效捕获存储器152。既定图案存储器118，可以是压缩信息存储部的一个例子。既定图案存储器118， 存储多个压缩信息，每个所述压缩信息对应图案列及识别图案列的图案列识别信息。既定图案存储器118，与识别该既定图案列的该既定图案识别信息对应测试图案列和/或期望
8值图案列，即图案列里面被预先设定的既定图案列。既定图案识别信息可以是图案列识别信息的一个例子。在这里，测试图案存储器106和/或期望值图案存储器108，关于与既定图案列同样的图案列，替换该图案列本身，存储该既定图案列的既定图案识别信息。序列图案生成部142，从矢量生成控制部116接收与执行的例程对应输出的测试图案列的开始地址。并且，序列图案生成部142，与各命令周期对应从该开始地址起按顺序从测试图案存储器106读出测试图案列，依次向格式控制部144输出。格式控制部144，与驱动器170共同具有本实施方式涉及的测试图案输出部的功能，将测试图案列转换为了控制驱动器170的格式。序列图案生成部146，与执行的例程对应，从矢量生成控制部116接收期望值图案列的开始地址。并且，序列图案生成部146，与各命令周期对应，从该开始地址起按顺序从期望值图案存储器108读出期望值图案，顺次输出到搜索及比较部148及失效捕获控制部 150。搜索及比较部148，是本实施方式涉及的期望值比较部的一个例子，借助比较仪180输入DUT100输出的输出图案列，并与期望值图案列比较。在这里，针对被DUT100输出的定时不固定的输出图案列，搜索及比较部148，可以具有以DUT100输出特定的首图案为条件，开始与期望值图案列的比较的搜索功能。失效捕获控制部150，从搜索及比较部148接收到DUT100的输出图案列及期望值图案列一致/不一致的信息，生成关于该端子的DUT100好坏判断结果。失效捕获存储器 152，存储包含搜索及比较部148的搜索处理的结果或与期望值不一致的输出图案的值等的失效信息。定时生成部160，生成驱动器170输出测试图案列内的各测试图案的定时，及，生成比较仪180获取DUT100的输出图案的定时。驱动器170，与格式控制部144共同具有本实施方式涉及的作为测试图案输出部的功能，在被定时生成部160指定的定时中，将被通道图案生成部140内的格式控制部144输出的各测试图案输出到DUT100。比较仪180，在被定时生成部160指定的定时中，取得从DUT100端子输出的输出图案，并供给通道块130 内的搜索及比较部148和数字捕获存储器110。图2，与既定图案存储器118 —起表示本实施方式涉及的序列图案生成部142及序列图案生成部146的构成。序列图案生成部142，包含图案存储器读出部200、既定图案读出部210、图案选择部220和选择部230。图案存储器读出部200，可以是基本图案读出部的一个例子。图案存储器读出部 200，从测试图案存储器106或期望值图案存储器108中读出作为处理对象的基本图案中包含的图案列数据。图案存储器读出部200，在测试模块10执行一命令中，与该一命令对应读出在测试图案存储器106中存储的图案列数据，即测试图案列或既定图案识别信息。选择部230，从既定图案存储器118中存储的多个压缩信息，选择图案清单指示的处理对象的基本图案中使用的选择压缩信息。所述既定图案存储器118可以是压缩信息存储部的一个例子，图案清单可以是指示信息的一个例子。既定图案存储器118具有多个压缩信息1到压缩信息η。选择部230，可以对每个图案选择多个压缩信息中的任何一个。在本实施方式的测试�？�10中，由于具有选择部230，所以能够对各基本图案转换压缩信息。 再者，还能够具有与基本图案对应存储识别在基本图案的处理中使用的压缩信息的压缩信息识别信息的基本图案信息存储部，选择部230能参照压缩信息识别信息选择选择压缩fn息ο既定图案读出部210，可以是图案列读出部的一个例子。既定图案读出部210，在图案存储器读出部200读出的图案列数据中包含可以是图案列识别信息的一个例子的既定图案识别信息时，参照选择部230选择的选择压缩信息，读出与既定图案列识别信息对应的既定图案列。根据这个，既定图案读出部210，将既定图案识别信息转换成对应的既定图案列。图案选择部220，可以是图案输出部的一个例子。图案选择部220，输出图案存储器读出部200读出的图案列数据中包含的图案列，或输出与图案列读出部读出的图案列识别信息对应的图案列。图案选择部220，在执行该一命令的命令周期期间中，与该一命令对应选择图案存储器读出部200从测试图案存储器106读出的测试图案列，或，既定图案读出部210从既定图案存储器118读出的既定图案列，并输出到格式控制部144。更具体，图案选择部220，与该一命令对应判断是否已经从测试图案存储器106读出测试图案列或既定图案识别信息的任何一个，当测试图案列被读出时，将从图案存储器读出部200输出的该测试图案列输出到格式控制部144。另一方面，当既定图案识别信息被读出时，向格式控制部144输出从既定图案读出部210输出的既定图案列。接收到这个，本实施方式涉及的测试图案输出部的一个例子的格式控制部144及驱动器170，将被图案选择部220选择的测试图案列或既定图案列对驱动器170连接的DUT100端子输出。序列图案生成部146，因为采用序列图案生成部142同样的构成，所以省略说明。 再者，取代个别设置以上所示的序列图案生成部142及序列图案生成部146的构成，通道图案生成部140可以采用具有序列图案生成部142及序列图案生成部146的功能的共同的序列图案生成部的构成。图3，表示本实施方式涉及的压缩信息的一个例子。在到本实施方式中，测试图案存储器106和/或期望值图案存储器108，以能够判断图案列或既定图案识别信息的哪一个被存储为目的，与各命令对应存储测试图案压缩信息和/或期望值图案压缩信息(以下总称「图案压缩信息」)。以下，用图3说明图案压缩信息的编码形式的一个例子。另外，如上所述，在本实施方式中图案压缩信息可以具有多个。本实施方式涉及的图案压缩信息的第0比特，作为指定1命令周期期间中使用的图案列的矢量长度的矢量长度信息被使用。在这里，本实施方式涉及的测试�？�10具有在 1命令周期期间中使用的图案列的矢量长不相同的多个动作方式。作为一个例子测试�？� 10具有例如使用32图案的测试图案列或期望值图案列进行测试的第1动作方式(高速模式)和，与高速模式较比，用少数的，譬如1图案的测试图案列或期望值图案列进行测试的第2动作方式(低速模式)。并且，矢量长度信息指定将与该图案压缩信息对应的图案列作为第1动作方式或第2动作方式的哪个方式的图案列进行处理。第1动作方式(第0比特是"0")中，图案压缩信息，在预先确定了特定值(第 1-3比特是"000")的情况下，识别存储着的图案列。该情况下，测试图案存储器106和 /或期望值图案存储器108，与命令对应，与该图案压缩信息一起，存储第1动作方式的图案列，即32图案的图案列。另外，在第1动作方式中，图案压缩信息在不是特定值的情况下(第1-3比特为"001"至"111")作为既定图案识别信息使用。在这种情况下，测试图案存储器106
10和/或期望值图案存储器108，与命令对应存储该图案压缩信息，且不附加图案列。在第1动作方式中，测试�？�10，进行以下的动作。首先，图案存储器读出部200， 如果在执行一命令中，从测试图案存储器106或期望值图案存储器108读出图案压缩信息， 图案压缩信息是特定值(第0-3比特为"0000")的情况下，进一步读出图案列。其次，既定图案读出部210，在图案压缩信息不是特定值的情况下，读出与该图案压缩信息对应并在既定图案存储器118中存储的既定图案列。并且，图案选择部220，在图案压缩信息作为特定值的情况下选择图案存储器读出部200输出的图案列，在图案压缩信息不是特定值的情况下选择既定图案读出部210输出的既定图案列。另一方面，第2动作方式(第0比特为"1")中，图案压缩信息，在预先确定了特定值(第1-3比特是〃 000〃，和〃 111〃的)情况时，识别为存储着图案列。在第1-3比特是"000"的情况下，测试图案存储器106和/或期望值图案存储器108与在所接连的 16命令周期期间中被执行的16命令对应，与该图案压缩信息一起，存储每个第2动作方式的图案列，即每个命令对应的1图案的图案列。同时，第1-3比特是"111"的情况下，测试图案存储器106和/或期望值图案存储器108，与图案数部分的命令对应，与该图案压缩信息一起，存储具有图案数部分的长度的第2动作方式的图案列，其中，该图案数部分是与相当于被第4-7比特指定的图案数的命令周期间中所执行的图案数部分。测试图案存储器 106和/或期望值图案存储器108，通过改变这个第4-7比特，能够与1个图案压缩信息对应存储可变长度的图案。另外，在第2动作方式中，当图案压缩信息不是特定值时(第1-3比特为"001" 至"110")作为既定图案识别信息使用。这种情况下，测试图案存储器106和/或期望值图案存储器108，与命令对应存储该图案压缩信息，且不附加图案列。在第2动作方式中，测试�？�10，进行以下的动作。首先，图案存储器读出部200， 如果在执行一命令中，从测试图案存储器106或期望值图案存储器108读出图案压缩信息， 在图案压缩信息是特定值(第0-3比特为"1000"或"1111")的情况下进一步读出图案列。其次，既定图案读出部210，在图案压缩信息不是特定值的情况时，读出与该图案压缩信息对应在既定图案存储器118中存储的既定图案列。并且，图案选择部220，在图案压缩信息作为特定值的情况下选择图案存储器读出部200输出的图案列，在图案压缩信息不是特定值的情况下选择既定图案读出部210输出的既定图案列。在第2动作方式中，从该一命令过渡到多个命令周期期间之间，依次采用所选择的图案列的各图案。图4，表示本实施方式涉及的测试程序的一个例子。在图4例示的测试程序，包含有应该依次被执行的多个命令和，与各命令及各端子(CHl至CH4)对应执行该命令的命令周期期间中被输出到DUT100 的测试图案列。命令存储器104，存储图4所示的各命令。同时，多个测试图案存储器106 分别与各命令对应，存储作为识别在执行该命令的命令周期间中输出的测试图案列，或，在该命令周期期间中输出的既定图案列的既定图案识别信息而被使用的图案压缩信息。比如，与第1行的命令〃 NOP"对应，端子CHl的测试图案存储器106存储测试图案列{011. · · 110}，端子CH2的测试图案存储器106存储测试图案列{000. · · 110}，端子CH3 的测试图案存储器106存储测试图案列{011. . . 000}，端子CH4的测试图案存储器106存储测试图案列{001... 110}。更具体，测试图案存储器106将这些测试图案列，作为特定值 (第0-3比特为"0000")的图案压缩信息以及在该图案压缩信息中所附加的图案列的组合而存储。再比如，与第3行的命令〃 IDXI 100〃对应，分别在端子CHl及端子CH2的测试图案存储器106存储特定值以外的图案压缩信息CODEHl (第0-3比特为"0001");端子CH3 的测试图案存储器106存储特定值以外的图案压缩信息C0DEH2(第0-3比特为"0010")； 端子CH4的测试图案存储器106存储特定值以外的图案压缩信息C0DEH3(第0_3比特为"0011")。这样，多个测试图案存储器106与相同的命令对应，对各端子存储不同的既定图案识别信息。再譬如，与第9行的命令"NOP"对应，端子CHl的测试图案存储器106存储特定值以外的图案压缩信息C0DEH1，端子CH2到4存储特定值的图案压缩信息及测试图案列。根据对以上所示的测试程序的存储形式，能够与同一命令对应，在每个端子独立地确定是存储数据量大的测试图案列自己，还是置换为既定图案识别信息存储，得以更有效率地降低测试程序的数据量。更具体，与DUT100第1端子对应的第1测试图案存储器 106，与一命令对应存储一测试图案列；与DUT100第2端子对应的第2测试图案存储器 106，可以存储与该一命令对应包含一既定图案识别信息的图案压缩信息。并且，该情况，与 DUT100第1端子对应的第1图案存储器读出部200，与该一命令对应读出在第1测试图案存储器106中存储的特定值的图案压缩信息及一测试图案列。另一方面，与第2端子对应的第2图案存储器读出部200，与该一命令对应读出在第2测试图案存储器106中存储的， 不是特定值的一图案压缩信息。其次，与第2端子对应的第2既定图案读出部210，读出与不是特定值的一图案压缩信息对应在既定图案存储器118中存储的一既定图案列。并且，与第1端子对应的第1 通道图案生成部140及驱动器170，在执行该一命令的一命令周期期间中，对第1端子输出从第1测试图案存储器106读出的一测试图案列。另一方面，与第2端子对应的第2格式控制部144及驱动器170，在该一命令周期期间中，对第2端子输出被第2既定图案读出部 210读出的一既定图案列。根据以上所示测试�？�10，能够在各端子独立存储与同一命令对应，对各测试图案存储器106指定测试图案列或既定图案识别信息的图案压缩信息，从而提高压缩测试程序的可能性。再者，在图4中以测试图案存储器106中存储测试图案列为例进行了说明。不过， 由于在期望值图案存储器108中存储期望值图案列的情况也是如此，因此省略说明。图5，表示有关本实施方式的测试程序的压缩形式。图5(a)是压缩前的测试程序。本式测试程序，在第1-2行和第观-30行中，用第1 动作方式(高速模式)使测试模块10动作，使每个命令周期32图案的测试图案列。同时， 在第3-27行中，测试模块10用第2动作方式(低速度方式)使之动作，使每个命令周期输出1图案。图5(b)是压缩后的测试程序。在本测试程序中，压缩前的测试图案列 {VA1...VA32}，作为与既定图案识别信息"Hl"对应的既定图案列被存储在既定图案存储器118中。并且，压缩前的测试图案列{VA1...VA32}，被置换成指定既定图案识别信息"Hl"的图案压缩信息C0DEH1，并被存储在测试图案存储器106中。同样，压缩前的测试图案列{VB1. . . VB32}, {VD1...VD32}，和{VE1. . . VE32}被置换成指定既定图案识别信息"H2"，“ H4"，及〃 H5"的图案压缩信息C0DEH2，C0DEH4，和C0DEH5，并被存储在测试图案存储器106中。另外，与第2动作方式接连的16命令对应依次被输出的测试图案列 {SA1...SA16}，作为与既定图案识别信息"Li"对应的第2动作方式的既定图案列存储于既定图案存储器118中。另外，压缩前的测试图案列{VX1. . . VX32}，作为特定值(第1_4比特为〃 0000〃 ) 的图案压缩信息CODEHO和该测试图案列的组合而存储在测试图案存储器106。同样，压缩前的测试图案列{SA17...SA25}，作为特定值(第1-4比特为〃 1111"，且，第5_8比特为"9")的图案压缩信息C0DEL7和图案数是9的测试图案列{SA17...SA25}的组合而存储在测试图案存储器106。根据以上所述的测试程序的压缩方式，测试�？�10，通过将频繁出现的测试图案列作为既定图案列预先存储在既定图案存储器118中，从而能够将测试程序中包含的多个测试图案列，置换成指定该既定图案列的图案压缩信息，能够高效率地降低测试程序的规模。再者，在图5中以测试图案存储器106中存储测试图案列为例进行了说明。不过， 在期望值图案存储器108中存储期望值图案列时的情况与之相同，因此省略说明。图6，表示本实施方式的变形例涉及的图案压缩信息的一个例子。如图6所示的图案压缩信息中，用全部的压缩信息的编码指定高速模式。根据这样的图案压缩信息，能增加可以用高速模式使用的既定图案数。图7，表示本实施方式的进一步变形例的图案压缩信息的一个例子。图7所示的图案压缩信息中，用全部的压缩信息的编码指定任意的图案列。根据这样的图案压缩信息，能够以相当于4比特的压缩编码，分配空数据，S卩，削减4比特大小的压缩编码，可以提高压缩率。另外，在图案信息存储器中能够存储表示全部的编码用高速模式指定的意义或用任意图案列指定的意义的信息。图8，表示本实施方式的进一步变形例的图案压缩信息的一个例子。图8表现的图案压缩信息中，作为压缩信息的编码，分配8比特，用高位4比特的"0111"作为图案列指定包含多个任意图案列。同时，指定用低位4比特的"1001"指定的多个任意图案列的数目。即，作为压缩信息，能指定包含图案列的重复次数的次数信息。低位4比特的"1001" 表示着任意图案列被重复10次。根据这样的图案压缩信息，能消除在第2次以后的重复涉及的图案列中的数据的压缩信息的编码，能提高图案列数据的压缩率。图9表示本实施方式的再变形例涉及的图案压缩信息的一个例子。图9所示的图案压缩信息中，作为压缩信息的编码，分配8比特，用高位4比特的"0110"指定被多次重复的同一图案列。同时，用低位4比特的"0011"指定重复次数。即，作为压缩信息，可以包含指定图案列的重复次数的次数信息。低位4比特的"0011"表示任意图案列被重复5 次。根据这样的图案压缩信息，能消除在第2次以后的重复涉及的图案列数据的压缩信息的编码，能提高图案列数据的压缩率。再者，在图9中的压缩信息，能对每个输入或输出通道指定。因而，不能用作为重复命令的IDXI指定，即使在输入通道和输出通道的重复的次数相异的情况下，也因能对每个通道指定重复次数，得以提高压缩率。在图9中，作为重复的图案列，列举了任意图案列，不过，既定图案列也当然能适用。图10表示本实施方式的再变形例涉及的图案压缩信息的一个例子。在图10表示的图案压缩信息中，作为指定高速模式的压缩信息的编码，分配8比特，分为仅用高位4比特指定的图案列，和，与低位4比特合起来后用8比特指定的图案列。即，存储高速模式图案列作为压缩信息中包含的图案列的同时，存储能指定一地址空间的短位图案列识别信息或能指定比一地址空间大的地址空间的长位图案列识别信息作为图案列识别信息。作为短位图案列识别信息识别的图案列，分配预先被定义的使用频度高的高频度既定图案列，作为识别长位组合列识别信息的图案列；分配比预先被定义的高频度既定图案列使用频度低的低频度既定图案列。根据这样的图案压缩信息，高频度的既定图案列用4比特的压缩信息编码指定，低频度的既定图案用8比特的压缩信息编码指定。因而，能提高综合性的压缩率。此外，由于在低速模式的压缩编码与上述相同，所以省略说明。如以上所示，根据本实施方式涉及的测试�？�10，根据同样命令，能够在每个 DUT100端子独立压缩在多个测试图案存储器106中和/或在多个期望值图案存储器108中存储的图案列，能够提高测试程序的压缩效率。另外，高效率地压缩测试程序的结果，能够降低针对每命令从测试图案存储器106和/或期望值图案存储器108读出的平均数据量， 可以将主存储器102的要求数据流量控制得比较低。以上，通过实施方式说明了本发明，不过，以上的实施方式并不限定权利范围所涉及的发明，另外，本行业专业人员明白，能够对上述实施例加以多种多样的改良和变更。根据权利要求的记载可以明确，实施了这样的变更和改良的实施方式也包含在本发明的技术范围之内。在权利要求范围、说明书、和在附图中表示的装置、系统、程序、和在方法中的动作、次序、步骤，和阶段等的各处理的执行顺序，只要没有特别注明“比...先”、“在...之前”等，或者只要不是后边的处理必须使用前面的处理的输出，就可以以任意的顺序实施。 有关专利请求的范围、说明书和图纸中的动作流程，为了说明上的方便，使用了“首先”、“其次”、等字样加以说明，但即使这样也不意味着以这个程序实施是必须的条件。附图标记说明
10、测试模块
100、DUT
102、主存储器
104、命令存储器
106、测试图案存储器
108、期望值图案存储器
110、数字捕获存储器
112、中央图案控制部
114、图案清单存储器
116、矢量生成控制部
118、既定图案存储器
120、中央捕获控制部
122、图案结果存储器
14
130、通道块140、通道图案生成部142、序列图案生成部144、格式控制部146、序列图案生成部148、搜索及比较部150、失效捕获控制部152、失效捕获存储器160、定时生成部170、驱动器180、比较仪200、图案存储器读出部210、既定图案读出部220、图案选择部230、选择部
权利要求
1.一种测试�？椋涮卣髟谟冢ㄑ顾跣畔⒋娲⒉浚娲⒍喔鲅顾跣畔ⅲ创娲⑼及噶泻陀糜谑侗鹚鐾及噶械耐及噶惺侗鹦畔⒍杂Φ乃鲅顾跣畔ⅲ换就及复娲⒉浚喔鐾及噶惺葑魑蝗夯就及复娲ⅲ鐾及噶惺萦朊疃杂Π鐾及噶谢蛘咚鐾及噶惺侗鹦畔ⅲ恢甘拘畔⒋娲⒉浚娲⒂糜谥甘舅龌就及傅拇硭承虻闹甘拘畔ⅲ� 选择部，从所述压缩信息存储部所存储的多个所述压缩信息中选择在所述指示信息所指示的处理对象的基本图案中使用的选择压缩信息；基本图案读出部，从所述基本图案存储部读出作为处理对象的所述基本图案中包含的所述图案列数据；图案列读出部，当所述基本图案读出部所读出的所述图案列数据中包含所述图案列识别信息时，参照所述选择部选择的所述选择压缩信息，读出与所述图案列识别信息对应的图案列；图案输出部，输出所述基本图案读出部读出的所述图案列数据中包含的所述图案列， 输出与所述图案列读出部读出的所述图案列识别信息对应的所述图案列。
2.根据权利要求1所述的测试�？椋涮卣髟谟冢拱ɑ就及感畔⒋娲⒉浚胨龌就及付杂Υ娲⒂糜谑侗鹚龌就及傅拇碇惺褂玫难顾跣畔⒌难顾跣畔⑹侗鹦畔ⅲ凰鲅≡癫浚握账鲅顾跣畔⑹侗鹦畔⒍≡袼鲅≡裱顾跣畔�。
3.根据权利要求2所述的测试�？椋涮卣髟谟冢鲅顾跣畔⒋娲⒉浚娲⒌乃鲅顾跣畔ⅲ魑鲅顾跣畔⒒拱付ㄋ鐾及噶械闹馗创问拇问畔ⅲ凰鐾及甘涑霾浚话凑毡凰龃问畔⒅付ǖ闹馗创问馗词涑鏊鐾及噶小�
4.根据权利要求3所述的测试�？椋涮卣髟谟冢鲅顾跣畔⒋娲⒉浚娲魑鐾及噶校は榷ㄒ宓募榷ㄍ及噶谢蛟诿扛鏊鲅顾跣畔⒅卸ㄒ宓娜我馔及噶械乃鲅顾跣畔�。
5.根据权利要求4所述的测试�？椋涮卣髟谟冢鲅顾跣畔⒋娲⒉浚诖娲⒆魑鐾及噶邪喔鏊鋈我馔及噶械耐保侗鸲喔鏊鋈我馔及噶腥宓牡ヒ煌及噶惺侗鹦畔⒆魑硎径喔鏊鋈我馔及噶械氖康拇问畔⒍娲ⅲ凰鐾及甘涑霾浚话凑账龃问畔⑺付ǖ氖渴涑龆喔鏊鋈我馔及噶�。
6.根据权利要求1所述的测试模块，其特征在于，所述压缩信息存储部，存储每个输入或输出通道的所述图案列及所述图案列识别信息作为所述压缩信息；所述图案输出部，对每个所述通道输出所述图案列。
7.根据权利呀要求1所述的测试�？椋涮卣髟谟冢鲅顾跣畔⒋娲⒉浚魑鐾及噶校娲⒏咚倌Ｊ酵及噶谢虻退倌Ｊ酵及噶械耐保魑鐾及噶惺侗鹦畔ⅲ娲⑹侗鹚鐾及噶惺撬龈咚倌Ｊ酵及噶谢故撬龅退倌Ｊ酵及噶械耐及甘侗鹦畔ⅰ�
8.根据权利要求7所述的测试�？椋涮卣髟谟冢鲅顾跣畔⒋娲⒉浚魑鲅顾跣畔⒅邪乃鐾及噶校娲⑺龈咚倌Ｊ酵及噶械耐保魑鐾及噶惺侗鹦畔ⅲ娲⒖芍付ㄒ坏刂房占涞亩涛煌及噶惺侗鹦畔⒒虮人鲆坏刂房占浯蟮牡刂房占淇芍付ǖ某の煌及噶惺侗鹦畔ⅲ蛔魑龆涛煌及噶惺侗鹦畔⑺侗鸬耐及噶校峙湓は榷ㄒ宓氖褂闷刀雀叩母咂刀燃榷ㄍ及噶校蛔魑龀の煌及噶惺侗鹦畔⑺侗鸬耐及噶校峙浔仍は榷ㄒ宓乃龈咂刀燃榷ㄍ及噶械氖褂闷刀鹊偷牡推刀燃榷ㄍ及噶�。
9.根据权利要求7记载的测试�？椋涮卣髟谟冢鲅顾跣畔⒋娲⒉浚娲⑹撬龈咚倌Ｊ酵及噶泻驮诿扛鏊鲅顾跣畔⒈欢ㄒ宓娜我馔及噶凶魑鲅顾跣畔⒅邪娜康乃鐾及噶校娲⒖帐葑魑鐾及噶惺侗� fn息ο
10. 一种测试装置，其特征在于，包括压缩信息存储部，存储多个压缩信息，即存储图案列和用于识别所述图案列的图案列识别信息对应的所述压缩信息；基本图案存储部，将多个图案列数据为一群基本图案存储，所述图案列数据与命令对应包含所述图案列或者所述图案列识别信息；指示信息存储部，存储用于指示所述基本图案的处理顺序的指示信息； 选择部，从所述压缩信息存储部所存储的多个所述压缩信息中选择所述指示信息所指示的作为处理对象的基本图案使用的选择压缩信息；基本图案读出部，从所述基本图案存储部读出作为处理对象的所述基本图案中包含的所述图案列数据；图案列读出部，当所述基本图案读出部所读出的所述图案列数据中包含所述图案列识别信息时，参照所述选择部选择的所述选择压缩信息，读出与所述图案列识别信息对应的图案列；图案输出部，输出所述基本图案读出部读出的所述图案列数据中包含的所述图案列， 或输出与所述图案列读出部读出的所述图案列识别信息对应的所述图案列。
11. 一种测试方法，其特征在于，包括压缩信息存储步骤，存储多个压缩信息，即存储图案列和识别所述图案列的图案列识别信息对应的所述压缩信息；基本图案存储步骤，将多个图案列数据作为一群基本图案存储，所述图案列数据与命令对应包含所述图案列或者所述图案列识别信息；指示信息存储步骤，存储指示所述基本图案的处理顺序的指示信息； 选择步骤，从在所述压缩信息存储步骤存储的多个所述压缩信息中选择所述指示信息所指示的处理对象的基本图案中使用的选择压缩信息；基本图案读出步骤，读出处理对象的所述基本图案中包含的所述图案列数据； 图案列读出步骤，当在所述基本图案读出步骤读出的所述图案列数据中包含所述图案列识别信息时，参照在所述选择步骤选择的所述选择压缩信息，读出与所述图案列识别信息对应的图案列；图案输出步骤，输出在所述基本图案读出步骤读出的所述图案列数据中包含的所述图案列，或输出与在所述图案列读出步骤读出的所述图案列识别信息对应的所述图案列。
全文摘要
本发明公开了一种测试�？椋ㄑ顾跣畔⒋娲⒉�(118)，存储多个压缩信息，即存储图案列及用于识别图案列的图案列识别信息对应的压缩信息；基本图案存储部(106、108)，将多个图案列数据作为一群基本图案而存储，该图案例数据对应于命令包含图案列或者图案列识别信息数据；指示信息存储部(114)，存储指示基本图案的处理顺序的指示信息，选择部(230)，从压缩信息存储部所存储的多个压缩信息中选择指示信息所指示的作为处理对象的基本图案使用的选择压缩信息；基本图案读出部(200)，从基本图案存储部读出作为处理对象的基本图案中包含的图案列数据；图案列读出部(210)，当基本图案读出部所读出的图案列数据中包含图案列识别信息时，参照上述选择部选择的选择压缩信息，读出与图案列识别信息对应的图案列；图案输出部，输出基本图案读出部读出的图案列数据中包含的图案列，或输出与图案列读出部读出的图案列识别信息对应的图案列。
文档编号G01R31/3183GK102165326SQ20098013756
公开日2011年8月24日 申请日期2009年9月18日 优先权日2008年9月26日
发明者森川昭夫 申请人:爱德万测试株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
