专利名称：一种研磨盘三点平面度测量仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及测量仪器，具体涉及一种研磨盘三点平面度测量仪。
背景技术：
随着高亮度LED在照明工程领域需求量的急剧增长，带动了国内蓝宝石衬底材料制备产业的发展。由于蓝宝石晶体U-Al2O3)具有耐高温、耐腐蚀、透光波段宽等显著特点，是表面生长GaN的首选材料，但也正是由于蓝宝石硬度极高、脆性大、化学性质稳定的特点，给材料加工，尤其是晶片表面纳米级抛光在技术上带来很多困难，为应对光电技术的发展对产品衬底材料表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对蓝宝石衬底进行精细研磨抛光。实现高精度平面研磨抛光，关键取决于研磨盘平面精度及其精度保持性。所以，采用高平面精度的研磨盘是获得工件高平面精度的加工基础。在实际加工过程中，研磨盘虽然多由质地较硬的铸铁或不锈钢制成，具有很大的耐磨性，但无论何种材质产品都会产生磨损，故研磨盘在使用一定的时间后，必须测量其平面度，通过修整机进行修整，以去除表面缺陷，达到规定的平面精度。现有的研磨盘平面度测量仪一般只包括一个或者两个或者没有基准螺钉，很难校正千分表，这样就导致测量不精确，误差较大，无法使研磨盘保持高平面精度。同时，现有的研磨盘的基准螺钉无法调节，所确定的平面大小固定，当所测量的平面比平面度测量仪基准螺钉所确定的平面较大或较小时，研磨盘平面度测量仪要么无法使用，要么测量不精确，无法保证加工精度。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便、测量精度高且适用于任意大小测量平面的研磨盘三点平面度测量仪。为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案—种研磨盘三点平面度测量仪，包括水平支架、千分表和锁紧夹块，所述千分表通过锁紧夹块固定于水平支架上，所述研磨盘三点平面度测量仪还包括三个设于水平支架上的不在同一直线上的基准螺钉，所述每个基准螺钉在水平支架上可沿相对应的滑动槽移动，可调节三个基准螺钉所确定平面的大小。所述千分表包括测量头，所述测量头外部设有套筒。所述水平支架上表面和锁紧夹块一端开设有螺纹孔，所述锁紧夹块一端通过固定螺钉穿过螺纹孔固定于水平支架上。所述锁紧夹块另一端分为两部分，每部分上面设有平行于水平支架的螺纹孔，通过锁紧螺钉穿过螺纹孔锁紧套筒。所述研磨盘三点平面度测量仪包括两个千分表。所述两个千分表设于水平支架的同一直线上。本实用新型所述的三点平面度测量仪包括三个设于水平支架上的不在同一直线上的基准螺钉，每个基准螺钉设置有一个平行于水平支架的滑动槽，可根据要测量平面的大�。贫悸荻ぃＶと龌悸荻ざ悸湓谝饬康那蚰�。三个基准螺钉确定一个平面，可通过调节基准螺钉来使当三点平面度测量仪放置于基准大理石平台时千分表的读书为零，用于校正千分表，然后把三点平面度测量仪放在要测量的研磨盘的测量区域，这时千分表会显示数值，正值为凸出，负值为凹陷，从而保证了任意大小测量平面的测量结果的精确度；所述两个千分表上的读数，更方便地实现了快速读取提高了工作效率。
图I是本实用新型所述研磨盘三点平面度测量仪的主视图。图2是本实用新型所述研磨盘三点平面度测量仪的俯视图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。如图所示，一种研磨盘三点平面度测量仪，包括水平支架I、千分表2和锁紧夹块3，所述千分表2通过锁紧夹块3连接于水平支架I上，所述研磨盘三点平面度测量仪还包括三个设于水平支架I上的不在同一直线上的基准螺钉4，所述每个基准螺钉4在水平支架I上可沿相对应的滑动槽5移动，可调节三个基准螺钉4所确定平面的大小。本实施例中，所述水平支架I上设有三个不在同一直线上的基准螺钉4，每个基准螺钉4设置有一个平行于水平支架I的滑动槽5。可根据要测量平面的大小，移动基准螺钉4，保证三个基准螺钉4都落在要测量的区域内。当研磨盘三点平面度测量仪放置于基准大理石平面上时调节基准螺钉4来使千分表2的读数为零，用于校正千分表2，然后把三点平面度测量仪放在要测量的研磨盘的测量区域，适用于任意大小测量平面的测量，且保证了测量结果的精确度。本实施例中，所述千分表2包括测量头22，所述测量头外部设有套筒21。本实施例中，所述水平支架I上表面和锁紧夹块3—端开设有螺纹孔，所述锁紧夹块3 —端通过固定螺钉31穿过螺纹孔固定于水平支架上。所述锁紧夹块3另一端分为两部分，每部分上面设有平行于水平支架I的螺纹孔，通过锁紧螺钉32穿过螺纹孔锁紧套筒21。本实施例中，所述研磨盘三点平面度测量仪包括两个千分表2，并设于水平支架I的同一直线上。所述两个千分表2设于同一直线上，便于同时读取两个千分表2上的读数，最方便地实现了快速读�。岣吡斯ぷ餍省�
权利要求1.一种研磨盘三点平面度测量仪，包括水平支架、千分表和锁紧夹块，所述千分表通过锁紧夹块固定于水平支架上，所述研磨盘三点平面度测量仪还包括三个设于水平支架上的不在同一直线上的基准螺钉，所述每个基准螺钉在水平支架上可沿相对应的滑动槽移动，可调节三个基准螺钉所确定平面的大小。
2.如权利要求I所述的研磨盘三点平面度测量仪，其特征在于所述千分表包括测量头，所述测量头外部设有套筒。
3.如权利要求I所述的研磨盘三点平面度测量仪，其特征在于所述水平支架上表面和锁紧夹块一端开设有螺纹孔，所述锁紧夹块一端通过固定螺钉穿过螺纹孔固定于水平支架上；所述锁紧夹块另一端分为两部分，每部分上面设有平行于水平支架的螺纹孔，通过锁紧螺钉穿过螺纹孔锁紧套筒。
4.如权利要求I所述的研磨盘三点平面度测量仪，其特征在于所述研磨盘三点平面度测量仪包括两个千分表，且设于水平支架同一直线上。
专利摘要本实用新型涉及一种测量仪器，具体涉及一种研磨盘三点平面度测量仪。研磨盘三点平面度测量仪包括水平支架、千分表和锁紧夹块，所述千分表通过锁紧夹块固定于水平支架上，所述研磨盘三点平面度测量仪还包括三个设于水平支架上的不在同一直线上的基准螺钉，所述每个基准螺钉在水平支架上可沿相对应的滑动槽移动，可调节三个基准螺钉所确定平面的大小。本实用新型提供一种结构简单、适用于任意大小测量平面且测量精确度高的研磨盘三点平面度测量仪。
文档编号G01B5/28GK202372131SQ20112056528
公开日2012年8月8日 申请日期2011年12月30日 优先权日2011年12月30日
发明者方建东, 裴广庆 申请人:无锡元烨机械设备有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
