专利名称：旋转速率传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1所述的旋转速率传感器。
背景技术：
微机械的旋转速率传感器由现有技术已知。这些旋转速率传感器在不同的应用领域中、例如在用于ESP系统、侧翻感测装置或者用于导航目的的汽车领域中使用。在这些旋转速率传感器中，传感器结构的一些部件被有源地置于沿着第一方向的驱动振动中，该第一方向例如平行于衬底表面定向。在出现围绕检测轴线的外部旋转速率时，科里奥利力作用在该传感器结构的振动的部件上，该检测轴线垂直于第一方向并且例如同样平行于衬底表面定向。随着驱动振动的频率周期地变化的科里奥利力引起传感器结构的部件沿着第三方向的周期性偏移，该第三方向垂直于驱动方向和检测轴线定向。该第三方向可以例如垂直于衬底表面定向。在传感器结构上安装检测器件，该检测器件通过电极以电容方式检测该传感器结构的部件的偏移。已知的旋转速率传感器为每个活动的传感器结构仅仅具有一个固定地与衬底连接检测电极。这具有缺点，即检测电极与活动的传感器结构之间的有效电容很小。此外，通过每个活动的传感器元件仅有的一个位置固定的检测电极不能实现对活动的传感器元件的偏移的差动式检测。US 2008/0168838A1描述了一种具有全差动式电极布置的旋转速率传感器，其中作为上方的配对电极使用传感器罩中的被适当结构化的且被电接触的区域。但是在该方案中非常困难的是，活动的传感器结构与上方的固定电极之间的距离尽管所有的加工误差仍要被调节到与活动的传感器结构与下方的固定电极之间的距离正好一样大。同样由现有技术已知具有两个耦合的活动的传感器子结构的旋转速率传感器，这些传感器子结构可被激励作耦合的驱动振动，其中这些活动的子结构具有逆平行的偏移。 由于两个子结构的逆平行的驱动振动，作用在旋转速率传感器上的旋转速率导致两个子结构的逆平行的偏移。在活动的子结构与分别配属的固定电极之间的电容变化的分析允许对作用的旋转速率的差动式检测。已知的旋转速率传感器的缺点在于其振动敏感性和对于平行模式的激励难于抑制的敏感性。
发明内容
本发明的任务是提供一种改进的旋转速率传感器。该任务通过具有权利要求1的特征的旋转速率传感器解决。本发明的核心是在传感器芯中使用一个附加的微机械的功能平面，该附加的功能平面可以与位于其下方的印制导线平面及位于其上方的另外的功能平面无关地通过表面微机械的工艺被结构化。通过该三层结构允许以有利方式实现用于旋转速率传感器的每个传感器结构的全差动式电极布置。根据本发明的旋转速率传感器包括具有衬底表面的衬底；设置在该衬底表面上面的第一活动元件，该第一活动元件具有驱动框架和第一检测质量；第一电极和第二电极， 该第一电极在该第一检测质量下方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接，该第二电极在该第一检测质量上方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接。在此，该驱动框架通过至少一个驱动弹簧与该衬底连接，该检测质量通过至少一个检测弹簧与该驱动框架连接，该第一活动元件能被激励至平行于该衬底表面的驱动振动，并且该第一检测质量能垂直于该衬底表面偏移。根据本发明的旋转速率传感器以有利方式允许对该活动元件垂直于衬底表面的偏移进行差动式分析。该两侧的电极布置允许旋转速率传感器的全共振式工作，其中驱动振动和检测振动的频率通过在电极上施加静电的正反馈电压相互均衡，而不影响该活动元件与这些电极之间的距离。因此，活动元件与电极之间的接触(卡锁)被阻止。根据本发明的旋转速率传感器的另一个优点是其减少的易受振动干扰性。在一种优选的实施方式中，印制导线平面、第一功能平面和第二功能平面分层地上下叠置，其中，该印制导线平面与该衬底表面连接。在此，该驱动框架设置在该第一功能平面及该第二功能平面中，该第一检测质量至少部分地设置在该第一功能平面中，该第一电极设置在该印制导线平面中，并且该第二电极设置在该第二功能平面中。由此有利地以简单方式允许实现两侧的电极布置。在一种特别优选的实施方式中，该旋转速率传感器具有一具有第二检测质量的第二活动元件，其中，该第一和第二检测质量通过一个耦合弹簧相互连接，该第一和第二活动元件能被激励至平行于该衬底表面的耦合的驱动振动。这以有利方式提高了旋转速率传感器的精度和干扰不灵敏性。在一种扩展构型中，该第一和第二活动元件能被激励至耦合的驱动振动，其中该第一和第二活动元件具有逆平行的偏移。由此可以以有利方式区分检测质量垂直于衬底表面的由旋转速率引起的逆平行的偏移与检测质量垂直于衬底表面的由直线加速度引起的平行的偏移。适宜的是，该第一活动元件具有稳定化框架，该稳定化框架至少部分地设置在该第二功能平面中。优选该第一活动元件在此具有盆形形状，该盆形形状具有一设置在该第一功能平面中的底部和一在该第一功能平面及该第二功能平面中通过该稳定化框架构成的边缘。由此保证第一活动元件的足够的稳定性。适宜的是，该第一活动元件具有至少一个穿孔，其中，该第二电极通过所述穿孔在一固定点与该衬底表面连接。优选存在至少一个驱动梳形结构，以便激励该第一活动元件作驱动振动。优选第一活动元件此外通过至少一个外部弹簧与该衬底表面连接。适宜的是，该第一功能平面和该第二功能平面由导电硅组成。在本发明的一种扩展构型中，至少一个另外的电极设置在该第一检测质量下方和 /或上方。有利的是，该另外的电极允许该第一检测质量的静电式的正反馈，以便确保驱动振动的频率与该活动元件垂直于衬底表面的偏移的频率相一致。变换地，该另外的电极也用于正交补偿。该另外的电极也可以用于该第一检测质量的位置调节。在一种扩展构型中，该旋转速率传感器与分析电路连接，该分析电路设置用于由在该第一检测质量与该第一和第二电极之间的电容变化推断出该第一检测质量垂直于该衬底表面的偏移，以及由该第一检测质量的该偏移推断出作用在该旋转速率传感器上的旋转速率。有利的是这能够实现旋转速率的自动测量。
现在借助附图详细阐述本发明。在此对于相同的或作用相同的部件使用统一的附图标记。其中图1示出旋转速率传感器的第一实施方式的示意性俯视图；图2示出旋转速率传感器的第一实施方式的第一剖面；图3示出旋转速率传感器的第一实施方式的第二剖面；图4示出旋转速率传感器的第二实施方式；图5示出旋转速率传感器的第二实施方式的一个剖面；图6示出旋转速率传感器的第三实施方式；图7示出旋转速率传感器的第三实施方式的一个剖面；图8示出旋转速率传感器的第四实施方式；图9示出旋转速率传感器的第四实施方式的一个剖面；图10示出旋转速率传感器的第五实施方式；图11示出旋转速率传感器的第五实施方式的一个剖面；图12示出旋转速率传感器的第六实施方式；图13示出旋转速率传感器的第六实施方式的一个剖面。
具体实施例方式图1以示意图示出旋转速率传感器100的第一实施方式的俯视图。该旋转速率传感器100由衬底制成并且设置在X-y平面中在衬底表面190上面，该衬底表面在图1的视图中位于纸平面中。该衬底可以例如是硅衬底。该旋转速率传感器100包括第一活动元件 110和第二活动元件沈0，其中，该第一活动元件110和第二活动元件260彼此对称地构成并且在y方向上并排地布置。下面描述第一活动元件110。该描述类似地适用于第二活动元件洸0。该第一活动元件110具有一个驱动框架120。在图1的实施方式中，该驱动框架 120包括两个U形分块，这些U形分块的开口彼此相向并且由此在很大程度上包围一个位于x-y平面中的面区段。在通过驱动框架120包围的该面区段中设置有一个第一检测质量 130。该驱动框架120通过四个驱动弹簧140与衬底表面190连接。这些驱动弹簧140 中的每一个设置在该驱动框架120的两个U形分块的每个臂上。每个驱动弹簧140包括一个U形成型的衬底梁，该衬底梁的一个端部与衬底表面190连接，该衬底梁的另一个端部与驱动框架120连接。每个驱动弹簧140在y方向上是弹性的、但是在χ和ζ方向上在很大程度上是无弹性的。另外，该驱动框架120与四个驱动梳形结构150连接。在驱动框架120 的两个U形部件的每个臂上分别设置有一个驱动梳形结构150。每个驱动梳形结构150包括一个与衬底表面190连接的区段，该区段具有一排平行的、面向驱动框架120的梳状耙齿；及一个与驱动框架120连接的区段，该区段具有一排平行的梳状耙齿，它们与该驱动梳形结构150的与衬底表面190连接的区段的耙齿相配合。这四个驱动梳形结构150允许通过施加适当的电压将驱动框架120置于在y轴方向上的振动中。在此，这些驱动梳形结构 150引起使驱动弹簧140复位的偏移力。也可以对每个活动元件110、260存在多于或少于各四个驱动弹簧140和驱动梳形结构150。第一检测质量130通过总共八个检测弹簧180与驱动框架120连接。在第一检测质量130的所有四个外棱边的两个端部上各设有一个检测弹簧180。每个检测弹簧180包括一个U形构成的衬底梁，该衬底梁的一个端部与驱动框架120连接并且该衬底梁的另一个端部与第一检测质量130连接。这些检测弹簧180 —起允许第一检测质量130相对驱动框架120在ζ方向上偏移，而第一检测质量130相对驱动框架120在χ和y方向上的偏移基本上被阻止。由此将驱动框架120在y方向上的驱动运动传递到第一检测质量130上。第二活动元件260具有一个第二检测质量270。该第一检测质量130和第二检测质量270通过一个耦合弹簧170相互连接。该耦合弹簧170包括一个矩形的、在χ方向上拉伸的、由衬底梁组成的环，该环借助两个另外的衬底梁与第一和第二检测质量130、260连接。耦合弹簧170在y和ζ方向上具有明确定义的弹性，而它在χ方向上是刚性的。这引起检测质量130、270在y和ζ方向上的振动的耦合。第一检测质量130在背对第二检测质量270的一侧此外通过一个外部弹簧160与衬底表面190连接。该外部弹簧160通过一个衬底梁构成，该衬底梁圈定拉长的、在χ方向定向的矩形的外棱边并且通过一个桥接片与第一检测质量130连接。该外部弹簧160在y 和ζ方向上具有明确定义的弹性，而它在χ方向行基本上是刚性的。第二检测质量270通过另一个外部弹簧在背离第一检测质量130的一侧同样与衬底表面190连接。在该变换实施方式中可以省去这些外部弹簧160。图2示意性地示出图1的旋转速率传感器100的与y-z平面平行的剖面。图3示意地示出图1的旋转速率传感器100的与X-Z平面平行的剖面。在图2和3中可见，旋转速率传感器100由三个在ζ方向上上下设置的层制成。在衬底表面190上或中最下面的是印制导线平面230，它可以例如由埋置的多晶硅组成。在该印制导线平面上面设置有一个第一功能平面对0，该第一功能平面例如可以具有2μπι的厚度并且可以由外延生长的导电硅组成。在该第一功能平面上面设置有第二功能平面250，它例如可以具有10 μ m或20 μ m 的厚度并且可以由外延生长的导电硅组成。印制导线平面230、第一功能平面240和第二功能平面250分区段地通过空腔相互隔开。由图2和3表明，第一检测质量130具有盆形的横截面。在此，第一检测质量130 的通过第一功能平面MO的区域构成的底部被一个在第一功能平面240和第二功能平面 250中构成的稳定化框架四0圈定边界。该稳定化框架290使第一检测质量130稳定化。在印制导线平面230中在第一检测质量130下方设置有第一电极210。在第二功能平面250中、在第一检测质量130上方并且通过第一检测质量130的稳定化框架四0圈定边界地设置第二电极220。该第一电极210和第二电极220在χ-y方向上优选具有相似的横向尺寸。该第一电极210和第一检测质量130的位于第一功能平面240中的底部区域具有一个穿孔观0。这可在图3中看到。在穿孔观0的区域中，第二电极220通过柱形的固定点观5与衬底表面190连接。在如图3中的与x-z平面平行的剖面中，该第二电极220因此具有一个T形的横截面。该第一电极210和第二电极220可以通过印制导线平面230与一个在图中未示出的控制和分析电子装置连接。如图2所示，在y方向上在第一电极210旁边两侧在印制导线平面230中在第一检测质量130下方设置有两个第一另外的电极310。此外，在y方向上在第二电极220旁边两侧在第二功能平面250中在第一检测质量130上方设置有两个第二另外的电极320。第二另外的电极320同样在穿孔观0的区域中与衬底表面190连接。驱动弹簧140、外部弹簧160、耦合元件170和检测弹簧180优选通过第一功能平面240和第二功能平面250的材料构成。旋转速率传感器100的第一活动元件110和第二活动元件260可以借助驱动梳形结构150激励至耦合的驱动振动中，其中这些活动元件110、260沿着y轴逆平行地偏移。 在出现围绕χ轴的旋转速率时，科里奥利力作用在第一检测质量130和第二检测质量270 上并且导致检测质量130、270在ζ方向上的逆平行的偏移。第一检测质量130在ζ方向上的偏移可以借助第一电极210和第二电极220检测。为此可以例如将第一电极210置于第一电势(CN电势)上以及将第二电极220置于第二电势(CP电势)上。通过第一检测质量 130在ζ方向上相对位置固定的电极210、220的偏移，在第一检测质量130与第一电极210 及第二电极220之间的电容以相反的正负号变化。这允许对第一检测质量130的偏移的全差动式测量。第二活动元件110的第一电极和第二电极可以例如相对第一活动元件110镜像对称地置于第一和第二电势上。由此也能实现对第二检测质量270的偏移的全差动式分析。此外，两个活动元件110、260合起来允许全差动式地确定作用在旋转速率传感器100 上的旋转速率。第一另外的电极310和第二另外的电极320可以例如用于调节检测质量130、270 的位置。但是这些另外的电极310、320也可以用于静电式的正反�。员闳繁＜觳庵柿� 130,270的驱动振动和检测振动的频率全共振的相一致。通过在ζ方向上设置在检测质量 130,270两侧的另外的电极310、320可以在不改变检测质量130、270的ζ位置的情况下实现静电式的正反馈。由此避免临界电压降低，从该临界电压起相吸的静电力超过机械回复力及这会导致旋转速率传感器100的机电不稳定性。两侧的电极布置的另一个优点是，由于通过以上方式实现了差动式信号分析，因此旋转速率传感器100的振动敏感性极大地降低。图4示出根据第二实施方式的旋转速率传感器200的俯视图。在图5中示出旋转速率传感器200的与y-z平面平行的剖面。该旋转速率传感器200与图1至3的旋转速率传感器100的区别在于，第一检测质量130除了稳定化框架290外还具有两个另外的在第二功能平面250中在χ方向上延伸的稳定化支撑四5。这些稳定化支撑四5中的每个在盆形的第一检测质量130的中心区域中在稳定化框架四0的两个彼此对置的棱边之间延伸。 这些稳定化支撑295赋予该第一检测质量130附加的刚性。图6示出根据第三实施方式的旋转速率传感器300的俯视图。在图7中示出旋转速率传感器300的与y-z平面平行的剖面。该旋转速率传感器300与图1至3的旋转速率传感器100的区别在于，第一检测质量130除了稳定化框架290外还具有两个另外的在第二功能平面250中在y方向上延伸的稳定化支撑四6。这些稳定化支撑295在盆形的第一检测质量130的中心区域中在稳定化框架290的两个相对置的棱边之间延伸并且赋予该盆形的第一检测质量130附加的稳定性。由于在y方向上延伸的稳定化支撑四6，设置在第一检测质量130上方的第二电极220被分成三个区段。该第二电极220的中间区段在穿孔 280的区域中在固定点285上与衬底表面190连接。该第二电极220的另两个区域在两个另外的穿孔281上通过第一检测质量130和第一电极210经由附加的固定点285与衬底表面190连接。这相应地也适用于第二另外的电极320。图8示出根据第四实施方式的旋转速率传感器400的俯视图。在图9中示出旋转速率传感器400的与y-z平面平行的剖面。与图1至3的旋转速率传感器100不同，该旋转速率传感器400的第一活动元件110的第一检测质量130具有两个在χ方向上延伸的切缝430。各一个切缝430在y方向上中心地设置在穿孔280两侧。该旋转速率传感器400与旋转速率传感器100的另一个区别在于，在该第一活动元件110的第一检测质量130下方设有总共六个下电极411、412、413、414、415、416代替第一电极210和第一另外的电极310。相应地，在第一活动元件110的第一检测质量130上方在第二功能平面250中设有总共六个上电极421、422、423、似4、425、似6代替第二电极220 和第二另外的电极320。这些下电极411-416和这些上电极421-426具有并排的细窄的、 在χ方向上定向的条。两个最外面的上电极421、似6和两个最外面的下电极411、416能够如图1至3的第一和第二另外的电极310、320那样用于第一检测质量130的位置调节或者用于静电式的正反馈。第二和第五上电极422、425以及第二和第五下电极412、415可以如图1至3的第一和第二电极210、220那样用于第一检测质量130在ζ方向上的偏移的全差动式检测。两个处在里面的上电极423、424以及两个处在里面的下电极413、414部分地与第一检测质量130中的切缝430重叠。在切缝430的一侧上的上电极423和在切缝430的另一侧上的下电极414构成第一电极对。两个另外的内电极413、似4相应地构成第二电极对。通过在这些电极对之一上施加直流电压可以在ζ方向上在第一检测质量130上施加一个与第一检测质量130的偏移成比例的力。这可以用于正交力的补偿。这意味着，驱动运动在检测回路中的机械的和/或电的串扰被补偿。因为该串扰同样是与第一检测质量130 的偏移成比例的，所以该串扰通过与偏移成比例的力被补偿。该第一对电极423、414例如用于抑制正的转象差，第二对电极抑制负的转象差。图10示出根据第五实施方式的旋转速率传感器500的示意性俯视图。图11示出该旋转速率传感器500的与y-z平面平行的剖面。与图1至3的旋转速率传感器100不同， 旋转速率传感器500的第一活动元件110具有一个被改变的驱动框架520。该旋转速率传感器500的第一活动元件110的驱动梳形结构150设置在驱动框架520的两个与y轴平行的外棱边上并且被构造用于将第一活动元件110激励到具有与χ轴平行的偏移的振动中。 该第一活动元件110的驱动弹簧140设置在第一活动元件110的一个由驱动框架520箱形包围的区域中并且这样地构成，使得它允许第一活动元件110在χ方向上的运动、但是在y 和ζ方向上是刚性的。该旋转速率传感器500的第二活动元件260又相对于第一活动元件 110对称地构成并且在y方向上在第一活动元件110旁边设置在衬底表面190上面。与在图1至3的旋转速率传感器100中不同，在旋转速率传感器500中第一检测质量130和第二检测质量270不是通过外部弹簧160与衬底表面190连接。该第一检测质量130和第二检测质量270如在图4和5的旋转速率传感器200中那样具有在χ方向上延伸的稳定化支撑四5。在变换实施方式中可以省去这些稳定化支撑。
第一活动元件110的第一检测质量130和第二活动元件沈0的第二检测质量270 通过一个耦合弹簧570相互连接。该耦合弹簧570与图1的耦合弹簧170的区别在于，它在所有三个空间方向上具有一个确定的弹性。该耦合弹簧570可以例如由一个多重折叠的衬底梁组成，该衬底梁具有曲折形区域，这些曲折形区域具有与y轴平行的区段和与χ轴平行的区段。旋转速率传感器500的第一活动元件110和第二活动元件260可以借助驱动梳形结构150被激励到一个耦合的驱动振动中，其中这些活动元件110、260具有沿着χ轴的逆平行的偏移。在出现围绕y轴的旋转速率时，科里奥利力作用在第一检测质量130和第二检测质量270上并且引起这些检测质量130、270在ζ方向上的逆平行的偏移。这些偏移的检测如根据以上图阐述的那样进行。图12示出根据第六实施方式的旋转速率传感器600的示意性俯视图。图13示出该旋转速率传感器600的与y-z平面平行的剖面。图12的旋转速率传感器600与图1的旋转速率传感器100的区别在于，第一检测质量130不通过检测弹簧180、而是通过检测弹簧680与驱动框架120连接。如在图13中所示，这些检测弹簧680仅在第一功能平面240 中实施。通过第一功能平面240相对于第二功能平面250的显著更小的厚度，这些检测弹簧680在ζ方向上比图1至3的检测弹簧180具有更小的刚性。由此可以将检测弹簧680 构造得比检测弹簧180更短，以便在ζ方向上实现相同的刚性。由此得到检测弹簧680在χ 和y方向上的显著更高的刚性。因此可能的干扰模式，例如检测质量130围绕ζ轴的旋转模式被有效地抑制并且只有在比现有技术明显更高的频率时才起作用。旋转速率传感器100、200、300、400、500、600可以与一个未示出的控制与分析电子装置连接。该电子装置在驱动梳形结构上产生适当的驱动电压并且分析这些电极的电容信号，以便确定作用在旋转速率传感器上的旋转速率。该电子装置也可以执行所描述的检测质量的位置调节、静电式的正反馈或正交补偿。图1至13的实施方式可以由普通技术人员以近似任意的方式组合。
权利要求
1.旋转速率传感器(100)，包括 具有衬底表面(190)的衬底，设置在该衬底表面(190)上面的第一活动元件(110)，该第一活动元件具有驱动框架 (120,520)和第一检测质量(130)，第一电极(210)和第二电极O20)，该第一电极在该第一检测质量(130)下方间隔距离地设置并且与该衬底表面(190)连接，该第二电极在该第一检测质量(130)上方间隔距离地设置并且与该衬底表面(190)连接，其中，该驱动框架(120，520)通过至少一个驱动弹簧(140)与该衬底连接， 该检测质量(130)通过至少一个检测弹簧(180，680)与该驱动框架(120，520)连接， 该第一活动元件(110)能被激励至平行于该衬底表面(190)的驱动振动，并且该第一检测质量(130)能垂直于该衬底表面(190)偏移。
2.根据权利要求1所述的旋转速率传感器(100)，其中，印制导线平面030)、第一功能平面(MO)和第二功能平面(250)分层地上下叠置， 该印制导线平面(230)与该衬底表面(190)连接，该驱动框架(120)设置在该第一功能平面(MO)及该第二功能平面O50)中， 该第一检测质量(130)至少部分地设置在该第一功能平面O40)中， 该第一电极(210)设置在该印制导线平面O30)中，并且该第二电极(220)设置在该第二功能平面O50)中。
3.根据权利要求1或2所述的旋转速率传感器(100)，其中，该旋转速率传感器(100)具有一具有第二检测质量O70)的第二活动元件(沈0)， 该第一和第二检测质量(130，270)通过一个耦合弹簧(170，570)相互连接， 该第一和第二活动元件(110二60)能被激励至平行于该衬底表面(190)的耦合的驱动振动。
4.根据权利要求3所述的旋转速率传感器(100)，其中，该第一和第二活动元件(110二60)能被激励至耦合的驱动振动，其中该第一和第二活动元件(110，沈0)具有逆平行的偏移。
5.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，该第一活动元件(110)具有稳定化框架090)，该稳定化框架至少部分地设置在该第二功能平面O50)中。
6.根据权利要求5所述的旋转速率传感器(100)，其中，该第一活动元件(110)具有盆形形状，该盆形形状具有一设置在该第一功能平面 (240)中的底部和一在该第一功能平面(MO)和该第二功能平面O50)中通过该稳定化框架(四0)构成的边缘。
7.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中， 该第一活动元件(110)具有至少一个穿孔080)，该第二电极(220)通过所述穿孔(观0)在一固定点( 与该衬底表面(190)连接。
8.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，存在至少一个驱动梳形结构(150)，以便激励该第一活动元件(110)至驱动振动。
9.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，该第一活动元件(110)通过至少一个外部弹簧(160)与该衬底表面(190)连接。
10.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中， 该第一功能平面(Mo)和该第二功能平面O50)由导电硅组成。
11.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中，至少一个另外的电极(310，320)设置在该第一检测质量(130)下方和/或上方。
12.根据权利要求11所述的旋转速率传感器(100)，其中，所述至少一个另外的电极(310，320)被构造用于该第一检测质量(130)的静电式的正反馈、该第一检测质量(130)的位置调节和/或正交补偿。
13.根据以上权利要求之一所述的旋转速率传感器(100)，其中， 该旋转速率传感器(100)与分析电路连接，该分析电路设置用于由在该第一检测质量(130)与该第一和第二电极(210，220)之间的电容的变化推断出该第一检测质量(130)垂直于该衬底表面(190)的偏移，以及由该第一检测质量(130)的该偏移推断出作用在该旋转速率传感器(100)上的旋转速
全文摘要
旋转速率传感器包括具有衬底表面的衬底；设置在该衬底表面上面的第一活动元件，该第一活动元件具有驱动框架和第一检测质量；第一电极和第二电极，该第一电极在该第一检测质量下方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接，该第二电极在该第一检测质量上方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接。在此，该驱动框架通过至少一个驱动弹簧与该衬底连接，该检测质量通过至少一个检测弹簧与该驱动框架连接，该第一活动元件能被激励至平行于该衬底表面的驱动振动，并且该第一检测质量能垂直于该衬底表面偏移。
文档编号G01C19/56GK102292614SQ200980155170
公开日2011年12月21日 申请日期2009年12月3日 优先权日2009年1月21日
发明者J·克拉森 申请人:罗伯特·博世有限公司
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