专利名称：半导体臭氧传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及的是环境监测及险情根警器材，尤其是一种监测臭氧气体浓度的半导体臭氧传感器。
本实用新型的半导体臭氧传感器，包括电连接座和设置在其上的发热体，电连接座上设有通气罩，其特征在于发热体表面设有一层可检测臭氧浓度的气体敏感材料膜。
本实用新型半导体臭氧传感器的性能指标如下
探测范围O3 0~2000ppb灵敏度指标 RO/RS≥3响应时间≤2S恢复时间≤20S抗干扰能力可抗烟雾、酒精、甲醛气体的干扰；本实用新型半导体臭氧传感器设计科学，结构简单、体积�。猿羝宓募觳饬槊舳雀撸云渌宓目垢扇判院茫ü敬衅骺山渌杏Φ降某粞跖ǘ刃畔⒋涓觳庾爸茫ü觳庾爸没袢∽既返氖菪畔ⅲ涫褂眯Ч�。本半导体臭氧传感器可广泛用于大气中臭氧浓度的检测，亦可用于工业和家庭用臭氧产生器的臭氧浓度检测。
本实用新型半导体臭氧传感器的具体结构由以下附图
和实施例详细给出。
所述的发热体2由发热元件5和导热体6组成，发热元件5设置在导热体6内。
所述的发热元件5是电热丝，导热体6是实心柱状陶瓷管。
所述电连接座1为一可与检测装置电路系统连接的多脚管状插头，由圆柱形插头座7及其上设置的多脚接线柱8构成。发热体2通过多脚接线柱8安装在圆柱形插头座7上。圆柱形插头座7中间开有通气孔9。
本实用新型半导体臭氧传感器的使用方法将半导体臭氧传感器使用时将本半导体臭氧传感器插置在检测装置电路系统连接接口上，本半导体臭氧传感器便处于工作状态，如果空气中含有臭氧时，履盖在发热体2表面的气体敏感材料膜4即会将感应到的臭氧浓度信号通过多脚接线柱8传输给检测装置的电路系统，由检测传感器电路系统将获取的臭氧浓度信息转换成数据信息，供使用者读取。
权利要求1.一种半导体臭氧传感器，包括电连接座和设置在其上的发热体，电连接座上设有通气罩，其特征在于发热体表面设有一层可检测臭氧浓度的气体敏感材料膜。
2.根据权利要求1所述的半导体臭氧传感器，其特征在于发热体(2)由发热元件(5)和导热体(6)组成，发热元件(5)设置在导热体(6)内。
3.根据权利要求1所述的半导体臭氧传感器，其特征在于电连接座(1)为一多脚管状插头，由圆柱形插头座(7)及其上设置的多脚接线柱(8)构成。
4.根据权利要求1或2所述的的半导体臭氧传感器，其特征在于发热元件(5)是电热丝，导热体(6)是实心柱状陶瓷管。
5.根据权利要求1或3所述的的半导体臭氧传感器，其特征在于圆柱形插头座(7)中间开有通气孔(9)。
专利摘要一种半导体臭氧传感器，包括电连接座和设置在其上的发热体，电连接座上设有通气罩，其特征在于发热体表面设有一层可检测臭氧浓度的气体敏感材料膜。本半导体臭氧传感器设计科学，结构简单、体积�。猿羝宓募觳饬槊舳雀撸云渌宓目垢扇判院茫爰觳庾爸门浜鲜褂眯Ч�。其可广泛用于大气中臭氧浓度的检测，亦可用于工业和家庭用臭氧产生器的臭氧浓度检测。
文档编号G01N27/407GK2551999SQ02271869
公开日2003年5月21日 申请日期2002年7月17日 优先权日2002年7月17日
发明者马永樑 申请人:陈伟越, 马永樑
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