专利名称：微机械传感装置电特性检测分析系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种检测分析系统，特别是一种用于微机械传感装置电特性检测分析的 系统。
背景技术：
目前的电容测量技术中，往往采用电桥方法进行电容测量，参见图1,信号生产�？�1 用来生成测试信号，测试信号的频率范围在40Hz到110Mhz之间，最大频率分辨率为lmHz; 信号的输出范围在5mV到lV之间。信号生产�？�1连接自动电桥平衡�？�2，自动电桥平衡 �？�2用于平衡阻抗电流与被测电容电流，保持低电位Lp的零电位。其中相位检测器检测电 位，并控制幅值和相位使得低电位Lp的电位为零。当电桥不平衡的时候，零位检测器检测电 流误差信号，相位检测器将信号分成0与90向量部分。相位检测器的输出信号通过积分器和 乘法器进行合成。合成信号进行放大并通过电阻Rr反馈回待测器件DUT以消除待测器件DUT 上的电流，零位检测器就无误差电流通过，自动电桥平衡�？�2连接比例测量�？�3，比例 测量�？�3用于测量通过待测器件DUT和Rr电路的2个电压向量(Edut和Err)。其中Rr电 阻已知，则可测得待测器件DUT的阻抗Zx二RrX (Edut/Err)。通过开关Sl选择Edut或Err 信号分别通过乘法器进行解调、放大、衰减到A/D后输出后可得到电容值。
但是现有的电桥方法测量电容，由于检测时采用的平行走线和较长的线路，容易产生寄 生电容，并且这种测量方法的各部分元件是分立的，结构较为复杂，成本相对较高，稳定性 不高，获取数据的速度慢，测量精度较低，不能满足小电容的测量。
实用新型内容
针对上述现有技术的缺陷，本实用新型的目的是提供一种电路结构简单，成本低，稳定 性高，获取数据速度快，检测精度高的微机械传感装置电特性检测分析系统。
一种微机械传感装置电特性检测分析系统的前端检测装置，包括电容数字转换�？�、D/A 转换�？椤⑹纸涌谀？椤⒌谝换寄？�、第二基准�？橐约安馐粤幽？椋�
所述电容数字转换�？椋糜诩觳獯馄骷臀露刃畔ⅲ⒔浼觳獾降拇馄骷臀� 度信息转换成数字信号，并输出出去；
所述数字接口�？橛糜谟胪饨缌樱⒋渫饨绶⒗吹牟馐灾噶詈痛渌龅缛菔肿荒？榇龅氖荩�
所述测试连接�？榻残慕俏�120°的三个探针直接焊在PCB上，用于通过探针与待测 芯片连接；
所述D/A转换�？橛糜诮鍪纸涌谀？榇吹牟馐灾噶钭怀赡Ｄ庑藕挪⒋涞剿� 述测试连接�？榈闹屑浼迳希�
所述第一基准模块用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给所述测试连接模 块提供基准偏压；
所述第二基准�？橛糜谠诓罘值缛莶馐院涂杀涞缪沟髡咝远炔馐允备霾馐粤幽� 块提供基准偏压。
一种前端检测装置的微机械传感装置电特性检测分析系统，包括前端检测装置，数据处 理装置和计算机装置；
所述前端检测装置焊接在PCB电路板上，其测试线两边设有两排通孔，所述前端检测装 置用于检测相应差分电容、上端电容、下端电容、寄生电容和可变电压调整线性度以及温度 信息，并将上述检测结果转换成数字信号输出；
所述数据处理装置用于发送测试指令给所述前端检测装置，令所述前端检测装置检测， 将所述前端检测装置传递来的数字信号进行处理，并将结果存储、显示并发送出去；
所述计算机装置用于发送开始指令到所述数据处理装置，令所述数据处理装置指示所述 前端检测装置工作，接收所述数据处理装置传递来的检测数据，并进行处理，将最终处理结 果进行显示并存储。
本实用新型的微机械传感装置电特性检测分析系统，其中所述数据处理装置包括DSP模 块、存储器�？橐约暗阏笙允灸？椋�
所述存储器�？槲刹脸拇娲⑵鳎糜诖娲⑾嘤Φ氖荩� 所述点阵显示屏模块用于显示数据；
所述DSP�？橛糜诮胁患拥缛莶馐裕⒔峁４婧褪涑觯邮湛贾噶畈⒎⑺筒馐� 指令到所述前端检测装置，将所述前端检测装置发送来的数据处理并发送出去，将数据送到 所述存储器�？榻写娲ⅲ⒔莘⑺偷剿龅阏笙允酒聊？榻邢允尽�
本实用新型的微机械传感装置电特性检测分析系统，其中所述计算机装置包括控制�？椤� 显示�？楹痛娲⒛？椋�
所述显示�？橛糜谙允敬砗蟮氖荩�
所述存储�？橛糜诖娲⒋砗蟮氖荩�
6所述控制模块用于指示所述DSP�？榻胁患拥缛莶馐裕谐跏剂阄恍Ｗ�、并进行零 位电容量保存，发送开始指令到所述DSP模块，接收所述DSP�？榇吹牟馐允莶⒔杏� 测试电容值数据减去零位电容量，将新数据替换已有的测试数据进行平均处理，并将最终处 理数据发送到所述显示�？榻邢允荆⑺偷剿龃娲⒛？榻写娲�。
本实用新型的微机械传感装置电特性检测分析系统，其中所述前端检测电路包括+12V 输入端和公共端之间并联第一极性电容、第二电容、第三电容并连接到第一 5V电压源芯片的 2管脚，第二电容的下端接地，第二电容和第三电容之间接开关，所述开关的另一端分别连接 第二5V电压源芯片的2管脚，第二基准芯片的2管脚，以及通过第四电阻连接第一基准芯片 的2管脚，所述第一基准芯片的4管脚接地，6管脚通过第十三电容接地并连接第一电阻的 一端，所述第二基准芯片的4管脚接地，6管脚通过第十四电容接地并连接第三电阻的一端， 所述第二 5V电压源的4管脚接地，6管脚通过第四电容接地并连接D/A转换芯片的13管脚， 所述D/A转换芯片的3管脚、5管脚、4管脚、2管脚和7管脚，分别连接数字接口的2管脚、 4管脚、3管脚、1管脚和5管脚，所述D/A转换芯片的8管脚和11管脚接地并连接1管脚 通过电感连接7管脚接电源，所述D/A转换芯片的9管脚和10管脚通过第十二可变电容接地， 12管脚和14管脚接第二电阻的一端，所述第一电阻的另一端连接第一待测电容的上端，所 述第二电阻的另一端连接第一待测电容的下端和第二待测电容的上端，所述第三电阻的另一 端连接所述第二待测电容的下端，所述第一电阻和所述第二电阻通过第八电容连接电容数字 转换器的3管脚，所述第一待测电容的上端和所述第二待测电容的下端通过第十一电容连接 所述电容数字转换器的9管脚，所述第一待测电容的上端通过第十电容连接所述电容数字转 换器的7管脚，所述第二待测电容的下端通过第八电容连接所述电容数字转换器的8管脚， 所述电容数字转换器的1管脚、2管脚和16管脚分别连接所述数字接口的6管脚、7管脚和 8管脚，所述第一5V电压源芯片的6管脚通过第六电容，8管脚通过第七电容连接第4管脚 并接地，6管脚连接所述电容数字转换器的14管脚，所述电容数字转换器的13管脚接地。
本实用新型的微机械电特性检测分析系统，将前端检测部分集成在一起，探针直接焊接 在电路板上，减小了平行走线和线路较长带来的干扰，电路的结构简单，成本低，不容易产 生寄生电容，稳定性更高，由于采用DSP�？楹图扑慊锌刂疲故莼袢〉乃俣雀欤� 检测的精度更高，可以达到10—18量级。
图1是现有电桥测量电容的电路框图2是本实用新型微机械传感装置电特性检测分析系统的前端检测装置的装配7图3是本实用新型微机械传感装置电特性检测分析系统的系统框图4是本实用新型微机械传感装置电特性检测分析系统的数字接口电路图5是本实用新型微机械传感装置电特性检测分析系统的D/A转换部分、第一基准部分
和5V基准部分的电路图6是本实用新型微机械传感装置电特性检测分析系统的电容数字转换部分电路图； 图7是本实用新型微机械传感装置电特性检测分析系统的测试方法流程图8是本实用新型微机械传感装置电特性检测分析系统DSP�？槭荽矸椒鞒掏�。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型微机械传感装置电特性检测分析系统的实施方式进行详细说明。
参见图2、图3， 一种微机械传感装置电特性检测分析系统，包括前端检测装置11，数 据处理装置22和计算机装置33，其中前端检测装置11包括电容数字转换�？�101、 D/A转 换模块102、数字接口�？�103、第一基准�？�104和第二基准�？�105以及测试连接�？� 106;数据处理装置22包括DSP模块201、存储器�？�202以及点阵显示�？�203;计算机装 置33包括控制�？�301、显示�？�302和存储�？�303。
前端检测装置11焊接在PCB电路板上，其测试线两边设有两排通孔，前端检测装置用于 检测相应差分电容、上端电容、下端电容、寄生电容和可变电压调整线性度以及温度信息， 并将上述检测结果转换成数字信号输出；
数据处理装置22用于发送测试指令给前端检测装置11，令前端检测装置ll检测，将前 端检测装置ll传递来的数字信号进行处理，并将结果存储、显示并发送出去；
计算机装置33用于发送开始指令到数据处理装置22,令数据处理装置22指示前端检测 装置11工作，接收数据处理装置22传递来的检测数据，并进行处理，将最终处理结果进行 显示并存储。
电容数字转换模块101，用于检测待测器件和温度信息，并将其检测到的待测器件和温 度信息转换成数字信号，并输出出去；
数字接口�？�103用于与外界连接，并传输外界发来的测试指令和传输电容数字转换模 块101传出的数据；
测试连接�？�106将圆心角为120°的三个探针直接焊在PCB上，用于通过探针与待测 芯片连接；
D/A转换�？�102用于将数字接口模块103传来的测试指令转换成模拟信号并传输到测试连接�？�106的中间极板上；
第一基准�？�104用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给测试连接模块
106提供1V基准偏压；
第二基准�？�105用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给测试连接�？� 106提供4V基准偏压。
存储器�？�203为可擦除的存储器，用于存储相应的数据； 点阵显示屏模块202用于显示数据；
DSP�？�201用于进行不加电容测试，并将结果保存和输出，接收开始指令并发送测试 指令到前端检测装置11,將前端检测装置11发送来的数据处理并发送出去，将数据送到存 储器�？�203进行存储，并将数据发送到点阵显示屏�？�202进行显示。
显示�？�302用于显示处理后的数据；
存储�？�303用于存储处理后的数据；
控制�？�301用于指示DSP�？�201进行不加电容测试，进行初始零位校准、并进行零 位电容量保存，发送开始指令到DSP�？�201，接收DSP�？�201传来的测试数据并进行用 测试电容值数据减去零位电容量，将新数据替换已有的测试数据进行平均处理，并将最终处 理数据发送到显示�？�302进行显示，发送到存储�？�303进行存储。
工作过程为将待测器件放入测试连接�？�106中，并通过测试连接�？�106测试，控 制�？�301指示DSP模块201进行不加电容测试，并进行零位校准和零位电容量保存，发送 开始指令到DSP�？�201， DSP�？�201接收到开始指令后，发送测试指令到数字接口模块 103，数字接口�？�103将测试指令传递到电容数字转换�？�101进行电容值的测量，或者发 送到D/A转换�？�102， D/A转换�？�102将测试指令进行数模转换，将转换后的模拟信号即 可变电压调整线性度的测量信号送到测试连接�？�106的中间极板上，和上下极板的基准电 压一起产生静电力使中间极板移动，导致微机械电容的容值发生变化，从而通过电容数字转 换�？�101进行可变电压线性度的测量；其中第一基准�？�104和第二基准�？�105为测试 连接�？�106提供测量的基准电压，电容数字转换模块101将测量得到的数据通过数字接口 �？�103发送给DSP�？�201， DSP�？�201将数据处理，发送到存储器�？�203进行存储， 发送到点阵显示屏模块202进行显示，并将数据发送到控制模块301，其中DSP模块201处 理过程为开始测试；进行初始化；进行未加电容测试；判断电容是否小于50aF，否，则判断 电容是否大于lpF;是则进行电容测试；并进行数据保存；判断电容是否大于lpF后，是则 进行CAPDAC补偿，后测试；否则进行OFFSET补偿，后测试；测试完成后，进行未加电容测试，进行判断电容是否小于50aF;数据保存后，判断是否退出，否则继续进行电容测试；是
则结束；控制�？�301接收测试电容值数据并减去零位电容量；并将新数据替换已有的测试
数据，进行平均处理；将处理后的数据送到显示模块302显示和存储�？�303存储。
参见图5， +12￥输入端和公共端0即通过相应的接口与外界相连，其间并联第一极性电 容C1、第二电容C2、第三电容C3并连接到图6中第一5V电压源芯片的2管脚，第二电容C2 的下端接地，第二电容C2和第三电容C3之间接开关REFON/OFF，开关REF0N/0FF的另一端分 别连接第二5V电压源芯片的2管脚，第二基准芯片ADR444的2管脚，以及通过第四电阻R4 连接第一基准芯片ADR510的2管脚，第一基准芯片ADR510的4管脚接地，6管脚通过第十 三电容C13接地并连接图6中第一电阻Rl的一端，第二基准芯片ADR444的4管脚接地，6 管脚通过第十四电容C14接地并连接图6中第三电阻R3的一端，第二 5V电压源的4管脚接 地，6管脚通过第四电容C4接地并连接D/A转换芯片的13管脚，D/A转换芯片的3管脚、5 管脚、4管脚、2管脚和7管脚，分别连接图4中数字接口 12HEADER的2管脚、4管脚、3管 脚、1管脚和5管脚，D/A转换芯片的8管脚和11管脚接地并连接1管脚通过电感L701连接 7管脚接电源，D/A转换芯片的9管脚和10管脚通过第十二可变电容C12接地，12管脚和14 管脚接图6中第二电阻R2的一端；
参见图6，第一电阻R1的另一端连接第一待测电容C一up的上端，第二电阻R2的另一端 连接第一待测电容C一up的下端和第二待测电容C_down的上端，第三电阻R3的另一端连接第 二待测电容C—down的下端，第一电阻R1和第二电阻R2通过第八电容C8连接电容数字转换 器Gyro2的3管脚，第一待测电容C一叩的上端和第二待测电容C—down的下端通过第十一电 容Cll连接所述电容数字转换器Gyro2的9管脚，第一待测电容C—up的上端通过第十电容 C10连接所述电容数字转换器Gyro2的7管脚，第二待测电容C—down的下端通过第八电容C8 连接所述电容数字转换器Gyro2的8管脚，电容数字转换器Gyro2的1管脚、2管脚和16管 脚分别连接图4中所述数字接口 12HEADER的6管脚、7管脚和8管脚，第一 5V电压源芯片 的6管脚通过第六电容C6， 8管脚通过第七电容C7连接第4管脚并接地，6管脚连接电容数 字转换器Gyro2的14管脚，电容数字转换器Gyro2的13管脚接地。
其中电容数字转换器Gyro2内部设有温度传感器，可以对周围温度进行检测，并传输温 度数据到计算机中，以监测周围环境的温度，该温度的测量精度为o.r 。
其工作过程为将待测器件放入测试连接�？�106中，并通过测试连接�？�106测试， 控制模块301指示DSP�？�201进行不加电容测试，并进行零位校准和零位电容量保存，发 送开始指令到DSP�？�201， DSP�？�201接收到开始指令后，发送测试指令到数字接口�？�103，通过数字接口模块103中的数字接口 12HEADER的7管脚，将测试指令传递到电容数字 转换�？�101中电容数字转换器Gyro2芯片的2管脚，电容数字转换�？�101接收测试指令， 进行测量，通过数字接口�？�103中的数字接口 12服ADER的2管脚、4管脚、3管脚、1管 脚和5管脚，将测试指令D/A转换�？�102中D/A转换芯片的3管脚、5管脚、4管脚、2管 脚和7管脚，其中第二 5V电压源芯片为D/A转换�？�102提供5V的电压，D/A转换�？�102 将测试指令进行数模转换，将转换后的模拟信号即可变电压通过D/A转换芯片的12管脚和 14管脚通过第二电阻R2发送到测试连接�？�106的中间极板上，和上下极板的基准电压一 起产生静电力使中间极板移动，导致微机械电容的容值发生变化，从而通过电容数字转换模 块101进行电容变化量的测量；第一 5V电压源芯片为电容数字转换模块101提供5V电压， 其中第一基准�？�104为第一待测电容C—up的上端提供IV的基准电压，第二基准�？�105 为第二待测电容C—down的下端提供4V的基准电压，电容数字转换�？�101中电容数字转换 器Gyro2芯片的1管脚和16管脚分别连接数字接口 12冊ADER的6管脚和8管脚，将测量得 到的数据通过数字接口模块103的数字接口 12服ADER的6管脚和8管脚发送给DSP�？�201 ， DSP模块201将数据处理，发送到存储器�？�203进行存储，发送到点阵显示屏模块202进 行显示，并将数据发送到控制�？�301，其中DSP�？�201处理过程为开始测试；进行初始 化；进行未加电容测试；判断电容是否小于50aF，否，则判断电容是否大于lpF;是则进行 电容测试；并进行数据保存；判断电容是否大于lpF后，是则进行CAPDAC补偿，后测试；否 则进行OFFSET补偿，后测试；测试完成后，进行未加电容测试，进行判断电容是否小于50aF; 数据保存后，判断是否退出，否则继续进行电容测试；是则结束。控制�？�301接收测试电 容值数据并减去零位电容量；并将新数据替换已有的测试数据，进行平均处理；将处理后的 数据送到显示模块302显示和存储模块303存储。
参见图7， 一种微机械传感装置电特性检测分析系统的控制方法，包括以下步骤-步骤701，进行初始零位校准、指示DSP�？榻胁患拥缛莶馐裕⒔辛阄坏缛萘勘�
存；
步骤702，进行初始化测量种类配置；
步骤703,控制�？榉⑺涂贾噶畹紻SP�？橹校�
步骤704， DSP�？榻邮湛贾噶畈⒎⑺筒馐灾噶畹角岸思觳庾爸茫�
步骤705，前端检测装置收到测试指令后测试，测试完成后将数据返回DSP�？椋�
步骤706， DSP�？榻荽聿⒎⑺透刂颇？椋�
步骤707,控制模块接收测试电容值数据并减去零位电容量；
11步骤708,控制�？榻率萏婊灰延械牟馐允荩⒔衅骄恚� 步骤709，控制模块将处理后的数据送到显示�？橄允竞痛娲⒛？榇娲ⅲ� 步骤710，判断是否结束测试；否，则执行步骤701;
步骤7U,结束。
其中初始化设置过程包括设置差分电容测试、上端电容测试、下端电容测试、寄生电容 测试和可变电压调整线性度测试。
参见图8，微机械传感装置电特性检测分析系统的DSP�？槭荽矸椒ǎㄒ韵虏�
骤
步骤801,进行未加电容测试；
步骤802,判断电容是否小于50aF,否，则执行步骤807;
步骤803，进行电容测试；
步骤804，进行数据保存；
步骤805，判断是否退出，否，则执行步骤803;
步骤806，结束；
步骤807，判断电容是否大于lpF,是，则执行步骤810; 步骤808,进行OFFSET补偿； 步骤809，进行测试，执行步骤801; 步骤810，进行CATOAC补偿，执行步骤809。
其中在进行可变电压调整线性度测试时，还包括在进行电容测试之前调整中间极板的电压。
DSP�？榻惺荼４媸被褂玫阏笙允酒聊？橄允�。
在使用过程中，如需要对差分电容进行测试，则在第一待测电容C一up和第二待测电容 C—down上通过探针进行测试，并进行差分电容测试的设置，检测到数据最终被计算机�？榇� 理、存储和显示；在进行上端电容测试时，在第一待测电容C一叩的两端通过探针进行测试， 并进行上端电容测试的设置，检测到数据最终被计算机模块处理、存储和显示；在进行下端 电容测试时，在第二待测电容C—down的两端通过探针进行测试，并进行下端电容测试的设置， 检测到数据最终被计算机�？榇�、存储和显示；在进行可变电压调整线性度的测试时，在 进行电容测试之前调整中间极板的电压，并测量；在测量寄生电容时，将电容一端放在相应 的探针上，另外一端接地，并进行测量；数据最终被计算机�？榇�、存储和显示；同时电 容数字转换�？槎灾芪露冉屑觳猓⒋湮露仁莸郊扑慊校约嗖庵芪Щ肪车奈露�。本实用新型的微机械传感装置电特性检测分析系统，将前端检测部分集成在一起，电路 的结构简单，成本低，不容易产生寄生电容，稳定性更高，由于采用DSP�？榻锌刂疲� 数据获取的速度更快，检测的精度更高，可以达到10—18量级。
以上的实施例仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进 行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通工程技术人员对本实用新型的 技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。
1权利要求1.一种微机械传感装置电特性检测分析系统的前端检测装置，其特征在于，包括电容数字转换�？�(101)、D/A转换模块(102)、数字接口模块(103)、第一基准�？�(104)、第二基准�？�(105)以及测试连接模块(106)；所述电容数字转换�？�(101)，用于检测待测器件和温度信息，并将其检测到的待测器件和温度信息转换成数字信号，并输出出去；所述数字接口�？�(103)用于与外界连接，并传输外界发来的测试指令和传输所述电容数字转换�？�(101)传出的数据；所述测试连接�？�(106)将圆心角为120°的三个探针直接焊在PCB上，用于通过探针与待测芯片连接；所述D/A转换�？�(102)用于将所述数字接口模块(103)传来的测试指令转换成模拟信号并传输到所述测试连接�？�(106)的中间极板上；所述第一基准�？�(104)用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给所述测试连接模块(106)提供基准偏压；所述第二基准�？�(105)用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给所述测试连接模块(106)提供基准偏压。
2. —种根据权利要求1所述的前端检测装置的微机械传感装置电特性检测分析系统，其 特征在于，包括前端检测装置(11)，数据处理装置(22)和计算机装置(33);所述前端检测装置(11)焊接在PCB电路板上，其测试线两边设有两排通孔，所述前端 检测装置(11)用于检测相应差分电容、上端电容、下端电容、寄生电容和可变电压调整线 性度以及温度信息，并将上述检测结果转换成数字信号输出；所述数据处理装置(22)用于发送测试指令给所述前端检测装置(11)，令所述前端检测 装置(11)检测，将所述前端检测装置(11)传递来的数字信号进行处理，并将结果存储、 显示并发送出去；所述计算机装置(33)用于发送开始指令到所述数据处理装置(22),令所述数据处理装 置(22)指示所述前端检测装置(11)工作，接收所述数据处理装置(22)传递来的检测数 据，并进行处理，将最终处理结果进行显示并存储。
3. 根据权利要求2所述的微机械传感装置电特性检测分析系统，其特征在于，所述数据 处理装置(22)包括DSP�？�(201)、存储器�？�(202)以及点阵显示�？�(203);所述存储器�？�(203)为可擦除的存储器，用于存储相应的数据； 所述点阵显示屏�？�(202)用于显示数据；所述DSP�？�(201)用于进行不加电容测试，并将结果保存和输出，接收开始指令并发 送测试指令到所述前端检测装置(11)，将所述前端检测装置(11)发送来的数据处理并发送 出去，将数据送到所述存储器模块(203)进行存储，并将数据发送到所述点阵显示屏模块(202)进行显示。
4. 根据权利要求3所述的微机械传感装置电特性检测分析系统，其特征在于，所述计算 机装置(33)包括控制�？�(301)、显示�？�(302)和存储�？�(303);所述显示�？�(302)用于显示处理后的数据； 所述存储模块(303)用于存储处理后的数据；所述控制�？�(301)用于指示所述DSP�？�(201)进行不加电容测试，进行初始零位 校准、并进行零位电容量保存，发送开始指令到所述DSP�？�(20D，接收所述DSP�？�(201) 传来的测试数据并进行用测试电容值数据减去零位电容量，将新数据替换己有的测试数据进 行平均处理，并将最终处理数据发送到所述显示�？�(302)进行显示，发送到所述存储�？� (303)进行存储。
5. 根据权利要求4所述的微机械传感装置电特性检测分析系统，其特征在于，所述前端 检测电路包括+12￥输入端和公共端(GND)之间并联第一极性电容(Cl)、第二电容(C2)、 第三电容(C3)并连接到第一5V电压源芯片的2管脚,第二电容(C2)的下端接地，第二电 容(C2)和第三电容(C3)之间接开关(REFON/OFF)，所述开关(REF0N/0FF)的另一端分别 连接第二 5V电压源芯片的2管脚，第二基准芯片(ADR444)的2管脚，以及通过第四电阻(R4) 连接第一基准芯片(ADR510)的2管脚，所述第一基准芯片(ADR510)的4管脚接地，6管 脚通过第十三电容(C13)接地并连接第一电阻(Rl)的一端，所述第二基准芯片(ADR444) 的4管脚接地，6管脚通过第十四电容(C14)接地并连接第三电阻(R3)的一端，所述第二 5V电压源的4管脚接地，6管脚通过第四电容(C4)接地并连接D/A转换芯片的13管脚，所 述D/A转换芯片的3管脚、5管脚、4管脚、2管脚和7管脚，分别连接数字接口 (12HEADER) 的2管脚、4管脚、3管脚、1管脚和5管脚，所述D/A转换芯片的8管脚和11管脚接地并 连接1管脚通过电感(L701)连接7管脚接电源，所述D/A转换芯片的9管脚和10管脚通过 第十二可变电容(C12)接地，12管脚和14管脚接第二电阻(R2)的一端，所述第一电阻(Rl) 的另一端连接第一待测电容(C_up)的上端，所述第二电阻(R2)的另一端连接第一待测电 容(C—Up)的下端和第二待测电容(C—down)的上端，所述第三电阻(R3)的另一端连接所述第二待测电容(C_dovm)的下端，所述第一电阻(Rl)和所述第二电阻(R2)通过第八电 容(C8)连接电容数字转换器(Gyro2)的3管脚，所述第一待测电容(C一up)的上端和所述 第二待测电容(C—down)的下端通过第十一电容(C11)连接所述电容数字转换器(Gyro2) 的9管脚，所述第一待测电容(C_up)的上端通过第十电容(C10)连接所述电容数字转换器 (Gyro2)的7管脚，所述第二待测电容(C一down)的下端通过第八电容(C8)连接所述电容 数字转换器(Gyro2)的8管脚，所述电容数字转换器(Gyro2)的1管脚、2管脚和16管脚 分别连接所述数字接口 (12HEADER)的6管脚、7管脚和8管脚，所述第一 5V电压源芯片的 6管脚通过第六电容(C6)， 8管脚通过第七电容(C7)连接第4管脚并接地，6管脚连接所 述电容数字转换器(Gyro2)的14管脚，所述电容数字转换器(Gyro2)的13管脚接地。
专利摘要一种微机械传感装置电特性检测分析系统，包括用于检测相应差分电容、上端电容、下端电容、寄生电容和可变电压调整线性度以及温度信息并转换成数字信号输出的前端检测装置，用于发送测试指令给所述前端检测装置，令所述前端检测装置检测，将所述前端检测装置传递来的数字信号进行处理，并将结果存储、显示并发送出去的数据处理装置和用于发送开始指令到所述数据处理装置，令所述数据处理装置指示所述前端检测装置工作，接收所述数据处理装置传递来的检测数据，并进行处理，将最终处理结果进行显示并存储的计算机装置，从而提供一种电路结构简单，成本低，稳定性高，获取数据速度快，检测精度高的微机械传感装置电特性检测分析系统。
文档编号G01D18/00GK201421339SQ20092010673
公开日2010年3月10日 申请日期2009年4月7日 优先权日2009年4月7日
发明者李荣宽, 薛晓军, 许秋玲, 庆 陈 申请人:北京汇众恒电子技术有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
