专利名称：真空度检测仪的制作方法
技术领域：
本发明专利申请涉及的是真空度电子检测装置。
背景技术：
直到目前，一个空间的真空度检测是通过压力检测来实现的。每一抽真空工作泵 都要配装压力表，其密封装配要求极为严格，安装相对复杂，使用中还会出现相当的偏差， 压力表及其附件的安装必然会有漏点出现的可能性，难以保证其正常的使用期。
发明内容
本发明专利申请的发明目的在于彻底改变直接测量压力值来实现真空度检测的 现有技术状况，提供一种新型利用湿度检测方法实现真空度检测的真空度检测仪，它具有 易于实现密封安装、密封可靠性高、安装构造简单的技术特点。本发明专利申请提供的真空 度检测仪技术方案，其主要技术内容是一种真空度检测仪，该真空度检测仪为真空度湿度 检测仪，本检测仪的湿度检测头连接于密封装配安装在真空腔体的电连接部件上，湿度检 测头变送信号的信号处理单元与电连接部件连接设置，共同构成本真空度检测仪。人们的共识是真空是一个气体压力低于一个大气压的空间状态，因此其真空度的 检测方法只有压力检测法才能实现。但在气体稀薄的真空状态下，其水汽含量同样减少，也 就是湿度也随之减少，本发明专利申请的真空度检测仪技术方案正是利用湿度检测手段来 完成真空度的检测，从而避开压力仪表的管道机械式连接结构，而由密封装配更为简单也 更为可靠和稳定的电连接插接头实现内部湿度检测头与外部电路部分的工作连接，不仅可 以有效的、持久、稳定的保证真空状态，而且其构造简单、体积小巧、易于保证检测精度、使 用寿命长。
图1是本真空度检测仪中的湿度检测头安装示意2是本真空度检测仪一实施构造的电路原理图。
具体实施例方式本发明专利申请提供的真空度检测仪实质为真空度的湿度检测仪，本检测仪包括 湿度检测头3和处理温度检测头3变送信号的信号处理单元及显示单元、电源单元，湿度检 测头1置于真空腔体2中或与真空腔体2相连通的空间中，与密封装配于真空腔体2的电 连接插座1连接，其电连接插座1可选用航空用密封插接头；信号处理单元的湿度采集信 号输入端与电连接插座插接电连接，经放大电路、模/数转换电路经显示单元显示检测值。 所述的信号处理单元，其一实施构造如图2所示，但本专利保护范围不受本实施例所限。在 本信号处理单元中，作为湿度检测头3的湿敏电阻R8与震荡电路共同构成本信号处理单元 中的湿度变送电路，湿敏电阻R8经电连接插座连接于信号处理单元的电路中，震荡电路由运算放大器U3D与电阻R1、R2、R6和电容C1、C2共同构成，为湿敏电阻R8提供所需频率信 号，震荡电路输入端设置有由分压电阻R3和R4构成的电源电压分压电路，湿度变送电路 的输出端设置有由两运算放大器U3B、U3E及其外围部件构成的两道比例放大电路，其第二 道比例放大电路的输出连接至显示单元，且第二道比例放大电路输出产生与显示单元所要 求的输入信号相匹配的电压信号。在本实施例结构中，由于湿敏电阻的一工作特性是超出 20-60°C温度时则表现为非线性，为保证湿度检测精度，在湿度变送电路输出与第一道比例 放大器输入之间设置有由运算放大器U3C和反馈二极管Dl构成一温度补偿电路，通过二极 管Dl反馈压降随温度升高而降低的性能，使其温度高于60°C或低于20°C时，拉底或提升运 算放大器U3C输出电压，从而保证输出端的电压稳定，使测量更为准确。本电源电路由分压 电阻R25和稳压管D3连接构成，连接方便。
权利要求
一种真空度检测仪，其特征在于该真空度检测仪为真空度湿度检测仪，本检测仪的湿度检测头(3)连接于密封装配安装在真空腔体(1)的电连接部件上，湿度检测头变送信号的信号处理单元与电连接部件连接设置，共同构成本真空度检测仪。
2.根据权利要求1所述的真空度检测仪，其特征在于作为湿度检测头的湿敏电阻(R8) 与震荡电路共同构成信号处理单元的湿度变送电路，湿度变送电路的输出端设置有与显示 单元所要求的输入信号相匹配的比例放大电路。
3.根据权利要求2所述的真空度检测仪，其特征在于湿度变送电路输出与比例放大器 输入之间设置有由运算放大器(U3C)和反馈二极管(Dl)构成的温度补偿电路。
4.根据权利要求1、2或3所述的真空度检测仪，其特征在于电源单元由分压电阻和稳 压管连接构成。
全文摘要
本发明申请涉及的是真空度电子检测装置。本真空度检测仪实质为真空度的湿度检测仪，本检测仪的湿度检测头连接于密封装配安装在真空腔体的电连接部件上，湿度检测头变送信号的信号处理单元与电连接部件连接设置，共同构成本真空度检测仪。本技术方案改变了通过检测压力值的方法检测真空度的意识误区，而利用湿度检测手段来完成真空度的检测，因此避开压力仪表的管道机械式连接结构，只由密封装配更为简单的电连接插接头内外电连接，能够有效的、持久、稳定的保证真空状态，且体积小巧、易于保证检测精度、使用寿命长。
文档编号G01L21/00GK101915636SQ201010217010
公开日2010年12月15日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者张建军, 王丽娜, 邹利民 申请人:丹东科亮电子有限公司
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