专利名称：薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种薄膜太阳能电池激光刻划效果的自动检测装置，特别是太阳能电池的前电极层的激光刻划效果的自动检测设备，属于薄膜太阳能电池在线检测技木。
背景技术：
薄膜太阳能电池包括顺序层叠的前电极层、光电转换层和背电极层，每个膜层都需要通过激光刻划将其划分成多个单元，并通过激光错位刻划方法，将太阳能电池的多个电池单元实现内部串联，因此激光刻划效果对太阳能电池的电性能的好坏具有重要作用。中国专利201010587172. 5《非晶硅太阳电池激光刻划效果检测方法》利用万用表逐个对刻划后每节单元进行检测，但该方法是在全部膜层沉积后的检测，只是对刻划效果的后期分析，而不能实现在线的全检，特别是当前电极层刻划后没有及时进行刻划效果的检测，后期 发现问题也无法补救，而且该方法还需要光源，光源的要求很高，该检测方法费时、耗力，成本高，不适合用于规模化大批量生产的全检。中国专利201110084165. 8公开了《一种干法刻蚀硅片的自动检测方法》，该方法主要由游动表笔的行走机构0. 5-1. Ocm/s的速度移动，通过游动表笔测针接触到硅片的边缘进行检测，游动表笔测针和硅片在与电磁板和数字万用表组成的回路中显示出不断变化的电阻值，实现对干法刻蚀后夹具上的硅片由局部抽检到全面检测的转变，但是该检测方法是要通过测针与硅片边缘接触，而硅片非常�。枰庹胗牍杵范宰迹羯杂兴啥蚧嵊跋旒觳獾淖既沸裕皇屎嫌糜诩觳獗∧ぬ裟艿绯氐募す饪袒Ч�。
发明内容本实用新型就是要发明ー种在线自动检测装置，能够快速地、一次性将太阳能电池所有单元节的前电极层激光刻划槽都进行检测，解决如何在线自动检测激光刻划效果的技术问题。为了实现以上任务，本实用新型采用的技术方案设计ー种用于检测薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，包括测试台、移动架、测试机构和数据采集仪，其主要技术特征是测试机构安装在移动架上，测试机构上装有多个测试探针，该探针的一端与太阳能电池的激光刻划单元接触，另一端与数据采集仪连接。测试机构包括探针及其固定板和导电橡胶套，该导电橡胶套包覆探针的测试端头。移动架由电机、丝杠和横梁构成，横梁安装在丝杠上。移动架可沿测试台前后移动。横梁上装有推动测试探针的气缸。测试探针可上下移动。测试机构安装在太阳能电池激光刻划设备上,形成激光刻划与检测的一体机。所述测试机构上的探针之间的间距可调。测试机构中的相邻两探针分别位于激光刻划线的两侧。[0010]本实用新型产生的积极效果采用排式探针作为检测元件，探针同时对每个刻划单元进行接触，在两探针中间的激光刻划线将两节导电膜层分开，相当于ー个阻值很大的电阻(阻值大于2MQ)，用数据采集仪测试和记录每条激光刻划线的电阻值的方法来判断激光刻划效果，无需光源，结构简单，测试高效、方便，判断准确，实现在线全检，保证电池质量。
图I :本实用新型的结构示意图。图2 :本实用新型的测试原理图。图3 :实施例ニ的结构示意图。图4 :实施例三的结构示意图。图中1、支架，2、工作台，3、支撑柱，4、基片，5、导电橡胶套，6、探针固定板，7、探针，8、气缸，9、数据采集仪，10、电机，11、丝杠，12、横梁，13、激光器。
具体实施方式
实施例一见图1，用于检测薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置主要由支架I、工作台2、支撑柱3、导电橡胶套5、探针固定板6、探针7、气缸8、数据采集仪9、电机10、丝杠11和横梁12组成，工作台2放在支架I上，支撑柱3安装在工作台上，探针7安装在探针固定板6上，导电橡胶套5套在探针7的测试端头，探针固定板6安装在固定在横梁12上的气缸8上，气缸8的气压调至0. 4MPa^0. 6MPa，探针固定板6可在气缸8的推动下带动探针7向下运动，缩至弹簧不受カ时长度的3/5，使探针能与导电膜形成良好接触，接触到基片4上进行测量，横梁12安装在由电机10和丝杠11组成的传动机构上，电机10转动带动丝杠11转动，使得横梁12向前运动，带动探针7实现向前运动，探针7每相邻的两个作为ー组接线到数据采集仪9的对应接线上。本实施例为玻璃基底的非晶硅电池的前电极层ニ氧化锡膜经激光刻划成九节后对激光刻线效果的检测，检测时，先将基片4自动传输到本装置的支撑柱3上，当光电开关检测到后停止到对应检测位置，电机10接到指令转动，丝杠11转动使横梁12到相应设定位置停止，气缸8接到指令，向下推动探针固定板6使得探针7前端的导电橡胶套5接触到ニ氧化锡膜，开始测量，数据采集仪9分别记录显示相应的电阻值数据，如图2所示，RrRS分别代表八条激光刻线产生的电阻值，Cl至C8分别为对应的数据采集仪9的测量值，当Cl至C8测量值中有数值显示电阻值在2MQ以上，表示激光刻线合格，如果低于2MQ，则表示不合格。实施例ニ见图3，本实施例为将检测装置安装在激光刻划设备上，形成与激光刻划设备一体，当激光设备的激光器13对膜层进行激光刻划完成后，基片退回到原点位置，此时检测设备开始工作，对激光刻线效果进行检測。采用的检测装置及方法如实施例一所述。实施例三见图4，本实施例为用于连续生产线生产模式的在线检测装置，当自动传输装置将激光器13刻划完成的基片4送到相应位置后，检测装置开始检测激光刻线的效果，具体的 检测装置及方法如实施例一所述。
权利要求1.ー种薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，包括测试台、移动架、测试机构和数据采集仪，其特征在于所述测试机构安装在移动架上，测试机构上装有多个测试探针，该探针的一端与太阳能电池的激光刻划单元接触，另一端与数据采集仪连接。
2.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，其特征在于所述测试机构包括探针及其固定板和导电橡胶套，该导电橡胶套包覆探针的测试端头。
3.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，其特征在于所述移动架由电机、丝杠和横梁构成，横梁安装在丝杠上。
4.根据权利要求3所述的薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，其特征在于所述横梁上装有推动测试探针的气缸。
5.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，其特征在于所述测试机构安装在太阳能电池的激光刻划设备上，形成激光刻划与检测的一体机。
6.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，其特征在于所述测试机构上的探针之间的间距可调。
7.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，其特征在于所述测试机构中的相邻两探针分别位于激光刻划线的两侧。
专利摘要本实用新型涉及一种薄膜太阳能电池激光刻划线的自动检测装置，属于薄膜太阳能电池在线检测技术。该自动检测装置包括测试台、移动架、测试机构和数据采集仪，其主要技术特征是测试机构安装在移动架上，测试机构上装有多个测试探针，该探针的一端与太阳能电池的激光刻划单元接触，另一端与数据采集仪连接。本实用新型采用排式探针作为检测元件，探针同时对每个刻划单元进行接触，结构简单，测试高效、方便，实现在线全检，保证电池质量。
文档编号G01N27/04GK202599892SQ20122019454
公开日2012年12月12日 申请日期2012年5月3日 优先权日2012年5月3日
发明者陈佩佩, 李毅 申请人:深圳市创益科技发展有限公司
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