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太赫兹波的特性测量方法和装置、物质检测方法和装置的制作方法

时间:2025-06-09    作者: 管理员

专利名称:太赫兹波的特性测量方法和装置、物质检测方法和装置的制作方法
技术领域:
本发明涉及太赫兹波的特性測量方法、物质检测方法、测量仪器、太赫兹波的特性測量装置和物质检测装置。
背景技术:
迄今为止已经提出了使用对衣物、包袋等具有高度透过性的太赫兹频段的电磁波(太赫兹波)来检测目标物体的技木。例如,提出了一种通过向物品发射太赫兹波并分析从该物品反射出的或透过该物品的太赫兹波的有关信息来探知物品的系统(例如,參见日本特开第2008-500541号公报)。
此外,提出了下述技术(例如,參见日本特开第2009-281864号公报、第2009-74807号和第2010-249564号公报)将ー种或多种无机盐添加至包含有机物的水溶液中、混合、冷冻并获得其冷冻试样,对该冷冻试样照射太赫兹波,然后测量透过的太赫兹波。因此,測量了处于溶解态或分散态的有机物的光谱特性。提出了用于太赫兹光分析的液体池(例如,參见日本特开第2009-288046号公报和第2009-288047号公报),其中能够透射太赫兹脉冲光的两个透光性基材相互重叠并贴附,所述液体池包含液体通路,经由该液体通路在两个透光性基材的界面处注入样品溶液。在日本特开第2008-500541号公报的系统中,待测量的目标限于固体。此外,在日本特开第2009-281864号、第2009-74807号和第2010-249564号公报的技术中,作为待测量的目标的液体是在被短暂冷冻后接受测量的。这是因为,如果待测量的目标是液体试样,由于溶剂中的水分子具有极性,那么水分子之间的相互作用強烈地吸收太赫兹波,所以难以测量液体中的溶质分子的光谱。而在日本特开第2008-500541号公报的技术中,待测量的目标是固体试样。因此,如果在用于在例如机场安全检查站等处检测目标物体的系统中采用该技木,则不可能測量诸如过氧化氢和硫酸等液体。此外,在日本特开第2009-281864号、第2009-74807号和第2010-249564号公报的技术中,因为待测量的目标的液体试样是在被短暂冷冻后接受測量的,因此对在例如机场安全检查站等处使用的实际适用性较差。对于日本特开第2009-288046号和第2009-288047号公报的技术,据记载,样品溶液并不限于是液体,而可以是例如有机溶剂或血液等。但仅将こ醇和水记载为样品溶液的溶剂的具体实例,而什么将用作溶质以及溶质将如何表现的具体细节均未记载。此外,尽管已记载如果太赫兹光分析用液体池中的液体的厚度(液体厚度L)较大则液体中的吸收会増大而且不会获得透射光,但是可能无法确立对于包含具有强脉冲光吸收的溶剂(例如水等)的样品溶液的透射測量方法。

发明内容
为解决上述问题完成了本发明,本发明提供一种太赫兹波的特性測量方法,即使待测量的目标是液体,所述方法也能够在不实施冷冻或固化操作的情况下测量透过待测量的目标或由其反射的太赫兹波的光谱特性或強度,本发明还提供物质检测方法、测量仪器、太赫兹波的特性測量装置和物质检测装置。本发明第一方面的太赫兹波的特性检测方法包括在溶液厚度为10 i! m 100 i! m的区域照射太赫兹波以使所述太赫兹波的传播方向为所述溶液的厚度方向,所述溶液包含至少ー种类型的待测量的目标物质;和測量透过所述区域的太赫兹波和由所述区域反射的太赫兹波之一的光谱特性和特定频率或特定波长下的強度中的至少ー个。因此,因为在溶液厚度为IOiim IOOiim的区域照射太赫兹波以使所述太赫兹波的传播方向为所述溶液的厚度方向,可以抑制诸如水等具有极性的溶剂对太赫兹波的吸收效果。因而,即使当待测量的目标是液体时,也可以在不实施冷冻或固化操作的情况下测量透过所述待测量目标的或由其反射的太赫兹波的光谱特性或強度。 为测量太赫兹波的光谱特性,照射可以包括照射所述太赫兹波并连续地改变所述太赫兹波的频率或波长,而测量可以包括測量透过所述区域的或由所述区域反射的太赫兹波的光谱特性,或者照射可以包括一井照射具有连续的频率或波长的太赫兹波,而测量可以包括对透过所述区域的或由所述区域反射的太赫兹波的时分波形进行傅里叶变换并测量光谱特性。为测量在特定频率或特定波长下的太赫兹波的強度,照射可以包括照射具有至少ー个特定频率或特定波长的太赫兹波,而测量可以包括測量透过所述区域的或由所述区域反射的太赫兹波的强度。所述太赫兹波的光谱特性或強度可以表示为透过所述区域的或由所述区域反射的太赫兹波的透射率和反射率之一与透过不含待测量目标物质的预定厚度的溶剂的或由其反射的太赫兹波的透射率或反射率的比率。因此,通过參考不含待测量目标物质的溶剤,可以清楚地分辨出目标物质。所述溶液的溶剂和不含待测量的目标物质的溶剂可包含至少ー种类型的极性分子。可以在厚度为IOiim IOOiim的区域照射已经穿过了ー个或多个物体的太赫兹波。因此,假定透过诸如衣物和包袋等物体进行检测,可以获得太赫兹波的光谱特性或强度。本发明第二方面的物质检测方法包括通过第一方面的太赫兹波的特性测量方法,測量来自含有未知物质的溶液的太赫兹波的光谱特性和強度中的至少一个;和将测得的光谱特性或強度与已使用第一方面的太赫兹波的特性測量方法测得的来自含有已知物质的溶液的太赫兹波的光谱特性或强度进行比较并鉴定所述未知物质。本发明第三方面的測量仪器是用于测量透过包含至少ー种类型的待测量的目标物质的溶液的太赫兹波和由所述溶液反射的太赫兹波之一的光谱特性和在特定频率或特定波长下的太赫兹波強度中的至少ー个的测量仪器,其中所述测量仪器包含用来填充溶液的空隙部,从而形成溶液厚度为10 ii m 100 V- m的区域。本发明第四方面的太赫兹波的特性測量装置包含包含光产生单元和非线性光学晶体的太赫兹波产生单元;第三方面的测量仪器,设置所述测量仪器以使由所述太赫兹波产生单元所产生的太赫兹波的传播方向是所述溶液的厚度方向;和用于测量透过所述区域的太赫兹波和由所述区域反射的太赫兹波之一的光谱特性和在特定频率或特定波长下的太赫兹波强度中的至少ー个的测量单元。根据本发明第四方面的太赫兹波的特性測量装置,设置了包含充满溶液的空隙部以形成溶液厚度为10 i! m 100 i! m的区域的测量装置,从而使得由太赫兹波产生单元产生的太赫兹波的传播方向是所述溶液的厚度方向。由太赫兹波产生单元对填充到空隙部中的溶液照射太赫兹波。測量单元测量透过所述区域或由该区域反射的太赫兹波的光谱特性,或測量在特定频率或特定波长的所透过或反射的太赫兹波的強度。因此,在使用具有用来填充溶液的空隙部以形成溶液厚度为IOiim IOOiim的区域的測量装置时,在所述空隙部中填充有目标测量溶液且对该区域照射太赫兹波以使太赫兹波的传播方向为所述溶液的厚度方向的情况下,可以抑制诸如水等具有极性的溶剂对太赫兹波的吸收效果。因此,即使当待测量目标是液体时,也可以在不实施冷冻或固化操作的情况下测量透过待测量的目标的或由其反射的太赫兹波的光谱特性或強度。所述光产生単元可以产生具有两种不同的波长的光来作为激发光,且所述光产生単元可以产生飞秒或纳秒脉冲光来作为激发光。此外,所述太赫兹波产生単元可以ー并产生具有连续的频率或波长的太赫兹波。本发明第五方面的物质检测装置包含第四方面的太赫兹波的特性測量装置;和鉴定装置,所述鉴定装置对已经使用所述太赫兹波的特性測量装置测得的来自含未知物质的溶液的太赫兹波的光谱特性或强度与来自含已知物质的溶液的太赫兹波的光谱特性或强度进行比较,并鉴定所述未知物质。


基于以下附图对本发明的示例性实施方式进行更详细地描述,其中图I是描述该示例性实施方式的物质检测装置的总体结构的结构图。图2A是光谱特性測量装置的分解透视图。图2B是所述光谱特性測量装置的截面图。图3是描述过氧化氢的光谱特性的图。图4是描述强酸性水溶液的光谱特性的图。图5是描述水溶性盐的光谱特性的图。图6是描述以该示例性实施方式的物质检测装置执行的物质检测处理程序的流程图。
具体实施例方式下面,參考附图详细描述本发明的太赫兹波的特性測量方法、物质检测方法、測量仪器、太赫兹波的特性測量装置和物质检测装置的示例性实施方式。在该示例性实施方式中描述了测量溶液以检测该溶液中的物质的情况,在所述溶液中,待测量的目标物质包含在诸如水等具有极性的溶剂中。具有极性的溶剂的其他实例包括醇等。在醇中,例如可 以提及甲醇和こ醇。作为本发明的对象,溶剂是具有极性的溶剂就足够了,而且所述溶剂并不限于本文中提及的溶剤。如图I所示,该示例性实施方式的物质检测装置10包含产生太赫兹波的太赫兹波产生单元12、光谱特性测量仪器14、对透过待测量的目标的太赫兹波进行测量的测量单元16和基于测得的太赫兹波的光谱特性来执行处理以鉴定待测量的目标物质的处理部18。太赫兹波产生单元12包含产生具有两种不同波长的激发光的双波长光产生単元12a和非线性光学晶体12b,所述非线性光学晶体12b通过差频产生(DFG)来从入射到其上的具有两种不同波长的光产生对应于两种不同波长之间的差频成分的太赫兹波。可以使用KTP (磷酸钛氧钾)參量谐振器、产生双波长光的激光单元等来作为所述双波长光产生単元12a。通过控制双波长光产生単元12a所产生的激发光的波长,可以改变非线性光学晶体12b所产生的太赫兹波的频率。有机光学晶体可以用作所述非线性光学晶体12b,例如,DAST(4_ ニ甲基氨基-N-甲基-4-芪唑的甲苯磺酸盐)晶体10a、DASC (4-ニ甲基氨基-N-甲基-4-芪唑的对氣苯横酸盐)晶体、OHl (2_ (3_ (4_轻基苯こ稀基)-5, 5_ ニ甲基环己-2_稀亚基)丙ニ臆)晶体等。此外,还可以使用无机光学晶体,例如,磷酸镓(G aP04)、神化镓(GaAs)、铌酸锂(LiNbO3)等。图2A是光谱特性测量仪器14的分解透视图,图2B是沿着图2A的A_A’线截取的截面图。如图2A和图2B所示,通过将两个薄板14a和14b接合在一起而构成了光谱特性测量仪器14。作为薄板14a和14b的材料,可以使用太赫兹波透射率高的烯烃类物质,例如,超高分子量的聚こ烯(UHMW-PE)或高电阻硅晶片等。在薄板14a中形成了 50 ii m深的槽。在将薄板14a和薄板14b接合在一起的状态下,所述槽形成了充填有作为待测量目标的溶液的微导管14c(空隙部)。光谱特性测量仪器14被设置在太赫兹波产生单元12和测量单元16之间,以使太赫兹波产生单元12所产生的太赫兹波的传播方向为微导管14c的深度方向。虽然在该情况中将微导管14c的深度设定为50iim,不过微导管14c的深度在IOiim IOOiim的范围内就足够了。如果微导管14c的深度小于10 y m,太赫兹波过度透射,可能无法获得区别性的光谱特性。另外,将待测量的目标溶液装入微导管14c中将变得难以操作。另ー方面,如果微导管14c的深度大于100 iim,则溶剂中水分子对太赫兹波的吸收效果很强,可能无法测量溶液中的物质的光谱特性。因此,如果微导管14c的深度在IOiim IOOiim的范围内将是优异的。测量单元16測量已经穿过光谱特性测量仪器14的太赫兹波的強度,其中所述光谱特性测量仪器14的微导管14c中已经充填了待测量的目标溶液。更具体而言,在连续改变由太赫兹波产生单元12产生的太赫兹波的频率的同时,測量単元16測量透过所述溶液的太赫兹波的光谱特性。上述的光谱特性测量仪器14是本发明的测量仪器的ー个实例,并且,由太赫兹波产生单元12、光谱特性测量仪器14和测量单元16形成的上述的结构体是本发明的太赫兹波特性測量装置的ー个实例。由该结构体执行的方法是本发明的太赫兹波特性測量方法的一个实例。处理部18由包含CPU、ROM、RAM等的微型计算机构成。处理部18获取由测量单元16测得的太赫兹波的光谱特性,并将该光谱特性转换成用相对于參照值(水的透射率)的比率来表示的光谱特性。处理部18将转换后的光谱特性与用相对于水的比率表示的预先已知的物质的光谱特性(已经预先存储)进行比较,并鉴定待测量的目标物质。通过前述的光谱特性測量方法已经预先获得了用相对于水的比率表示的每个预先已知物质的光谱特性。具体而言,将预先已知的物质装入光谱特性测量仪器14的微导管14c中,由太赫兹波产生单元12对其照射太赫兹波,并利用测量单元16測量透过该溶液的太赫兹波的光谱特性。因此,使用以同样方式测得的水的光谱特性,获得预先已知物质的光谱特性,将其表示为透射率与同一频率下水的透射率的比。例如,图3中描述了用过氧化氢的透射率与水的透射率之比表示的光谱特性(以下称为“过氧化氢的光谱特性”),来作为预先已知的物质的光谱特性的实例。凭借在4THz附近出现的峰,可以将过氧化氢的光谱特性与水区分开。图4中描述了分别用盐酸、硫酸和硝酸的透射率与水的透射率之比表示的各光谱特性(以下将它们统称为“强酸溶液的光谱特性”)。凭借在2. 5THz附近出现的吸收峰,可以将强酸溶液的光谱特性与水区分开。此夕卜,图5中显示了分别用氯酸钠的水溶液和硝酸铵的水溶液的透射率与水的透射率之比表示的各光谱特性(以下将它们统称为“水溶性盐的光谱特性”)。与过氧化氢类似,凭借在4THz附近出现的峰,可以将水溶性盐的光谱特性与水区分开。将这些预先已知物质的太赫兹波光谱特性和从这些光谱特性获得的信息预先存储来作为參照信息,以供用于鉴定未知物质时使用。
接下来,參考图6描述在该示例性实施方式的物质检测装置10中执行的物质检测处理程序。在步骤100中,将待测量的目标溶液装入光谱特性测量仪器14的微导管14c中,光谱特性测量仪器14被设置在太赫兹波产生单元12和测量单元16之间以使由太赫兹波产生单元12产生的太赫兹波的传播方向是微导管14c的深度方向。然后,在步骤102中,在连续改变太赫兹波产生单元12所产生的太赫兹波的频率的同时,利用测量单元16检测透过所述溶液的太赫兹波的透射強度。从而测量了光谱特性。随后将测得的光谱特性的数据输出至处理部18。在步骤104中,使用以同样方式测得的水的光谱特性,将步骤102中测得的光谱特性转换成用被測量物质的透射率与同一频率下的水的透射率之比表示的光谱特性。在步骤106中,读取已经预先存储在预定存储区中的预先已知物质的太赫兹波光谱特性,并将其与步骤106中所转换的光谱特性进行比较。从而鉴定出待测量的包含在目标溶液中的物质。输出結果,处理结束。如上所述,根据该示例性实施方式的物质检测装置,通过使用包含深度为10 y m 100 U m(在该实施方式中为50 u m)的微导管的光谱特性测量仪器、将待测量的目标溶液装入所述微导管中并对该溶液照射太赫兹波以使所述太赫兹波的传播方向是所述微导管的深度方向,可以抑制诸如水等具有极性的溶剂对太赫兹波的吸收效果。因此,即使待测量的目标是液体时,也可以在不实施冷冻或固化操作的情况下使用太赫兹波来測量光谱特性。此外,因为使用了用相对于水的透射率比来表示的光谱特性,可以将应当被检测的物质与水清楚地区分开。在以上的示例性实施方式中,描述了如下构造其中,通过将两个薄板(在其中的ー个中形成有槽)接合在一起而构成光谱特性测量仪器,不过该构造并非限制性的。用于充填待测量的目标溶液的空隙部的深度为IOym lOOym就足够了。在以上的示例性实施方式中,描述了如下构造其中,光谱特性测量仪器中的空隙部(微导管)的深度为10 i! m 100 i! m,并将溶液装入该空隙部。不过,如果被太赫兹波照射的区域中的溶液的厚度为IOiim IOOii m,则不必要求空隙部的实际深度在IOiim IOOym的范围。此外,所述空隙部不一定完全充满所述溶液;形成其中溶液的厚度为10 u m 100 u m的区域就足够了。
在以上的示例性实施方式中,描述了在IOiim IOOiim的范围内选择50 iim作为空隙部的深度的情況。不过,正如也在日本特开第2009-288046号和第2009-288047号公报中所记载的,应用朗伯比尔定律也可以分析在10 ii m 100 ii m范围内的其他厚度时的吸收光的强度。更具体而言,基于日本特开第2009-288046号和第2009-288047号公报的记载,即根据朗伯比尔定律,当液体的厚度也就是空隙部的深度变小时入射光的強度与透射光的強度之间的差异消失,在10 ii m 100 ii m的范围内选择非50 ii m的值作为空隙部的深度并将该选择应用于本发明是普通技术人员易于实现的。当本发明中空隙部的深度为IOiim IOOiim吋,无论是否消除了溶剂的入射光的強度与透射光的強度之间的差异,都可以观察到溶液的透过率峰。在以上的示例性实施方式中,描述了测量透过溶液的太赫兹波的构造。不过,也可以测量由溶液反射的太赫兹波。在该构造中,太赫兹波反射率高的物质可以用作光谱特性测量仪器的ー个面。例如,考虑到在机场安全检查站等领域的应用,在測量预先已知物质的光谱特性时,可以将诸如布等物体放置在太赫兹波产生单元与光谱特性测量仪器之间,并可以透过该物体对溶液照射太赫兹波。因此,假定待检测的目标物质在衣物或包袋等内部,可以获得光谱特性。在以上的示例性实施方式中,描述了使用光谱学的构造,其中使用波长可变的太赫兹波产生单元来測量光谱特性。不过,也可以通过时域光谱(TDS)来測量光谱特性,其中用一并透过溶液或由该溶液反射的具有连续频率或波长的太赫兹波来測量光谱特性,并对结果进行傅里叶变换。在该构造中,太赫兹波产生单元12使用脉冲光产生单元(由该脉冲光产生单元产生飞秒或纳秒脉冲的激发光来作为激发光源)代替双波长光产生単元12a,并通过对该非线性光学晶体12b照射该激发光来产生太赫兹波。由此产生的太赫兹波的频率通常为0. ITHz 10. OTHz。因此,对包含待测量的目标物质的溶液照射这些太赫兹波(飞秒或纳秒脉冲光),測量透过的或反射的太赫兹波的时分波形,并通过对所述时分波形进行傅里叶变换来获得各频率的振幅和相位。此外,通过使用ー个或多个特定频率或特定波长,可以测量透过溶液的或由溶液反射的太赫兹波的强度。在检测特定物质(如过氧化氢或盐酸等)时,如果预先已知峰的频率或波长,则照射具有特定的ー个/多个频率或特定的ー个/多个波长的太赫兹波就足够了,而无需连续改变频率或波长(如在DFG情况中)或一井照射具有连续频率或波长的太赫兹波(如在TDS情况中)。在以上的示例性实施方式中,描述了将用相对于水的光谱特性的比率来表示的光谱特性用作光谱特性的构造,但并不限于此。可以直接使用物质的光谱特性,也可以使用代表获自光谱特性的特征的信息。
权利要求
1.一种太赫兹波的特性測量方法,所述太赫兹波的特性測量方法包括 在溶液的厚度为10 i! m 100 i! m的区域照射太赫兹波以使所述太赫兹波的传播方向为所述溶液的厚度方向,所述溶液包含至少ー种类型的待测量的目标物质;和 測量透过所述区域的太赫兹波和由所述区域反射的太赫兹波之一的 光谱特性和 在特定频率或特定波长下的強度 中的至少ー项。
2.如权利要求I所述的太赫兹波的特性測量方法,其中,为测量所述太赫兹波的光谱特性,所述照射包括照射所述太赫兹波并连续地改变所述太赫兹波的频率或波长,并且所述测量包括測量透过所述区域的或由所述区域反射的太赫兹波的光谱特性。
3.如权利要求I所述的太赫兹波的特性測量方法,其中,为测量所述太赫兹波的光谱特性,所述照射包括一井照射具有连续的频率或波长的太赫兹波,并且所述测量包括对透过所述区域的或由所述区域反射的太赫兹波的时分波形进行傅里叶变换并測量所述光谱特性。
4.如权利要求I所述的太赫兹波的特性測量方法,其中,为测量在特定频率或特定波长下的太赫兹波的強度,所述照射包括照射具有至少ー个特定频率或特定波长的太赫兹波,并且所述测量包括測量透过所述区域的或由所述区域反射的太赫兹波的強度。
5.如权利要求I所述的太赫兹波的特性測量方法,其中,将所述太赫兹波的光谱特性或強度表示为透过所述区域的或由所述区域反射的太赫兹波的透射率和反射率之一与透过预定厚度的不包含所述待测量的目标物质的溶剂的或由其反射的太赫兹波的透射率或反射率之间的比率。
6.如权利要求I所述的太赫兹波的特性測量方法,其中,所述溶液的溶剂和所述不包含所述待测量的目标物质的溶剂包含至少ー种类型的极性分子。
7.如权利要求I所述的太赫兹波的特性測量方法,其中,所述照射包括在所述区域照射穿过至少ー个物体的太赫兹波。
8.如权利要求I所述的太赫兹波的特性测量方法,其中, 将所述溶液装入包含空隙部的测量仪器,和 所述照射包括在所述空隙部中溶液的厚度为10 y m 100 y m的区域照射所述太赫兹波以使所述传播方向是所述厚度方向。
9.ー种物质检测方法,所述物质检测方法包括 使用权利要求I所述的太赫兹波的特性測量方法来測量来自包含未知物质的溶液的太赫兹波的光谱特性和强度中的至少ー个;和 将测得的光谱特性或強度与已使用权利要求I所述的太赫兹波的特性測量方法测得的来自包含已知物质的溶液的太赫兹波的光谱特性或强度进行比较,并鉴定所述未知物质。
10.ー种测量仪器,所述测量仪器用于测量透过包含至少ー种类型的待测量的目标物质的溶液的太赫兹波和由所述溶液反射的太赫兹波之一的 光谱特性和 在特定频率或特定波长下的太赫兹波強度中的至少ー项, 所述测量仪器包含用来填充所述溶液的空隙部以形成所述溶液的厚度为IOym .100 V- m的区域。
11.一种太赫兹波的特性測量装置,所述太赫兹波的特性測量装置包含 太赫兹波产生单元,所述太赫兹波产生単元包含光产生单元和非线性光学晶体; 权利要求10所述的测量仪器,设置所述测量仪器以使由所述太赫兹波产生单元产生的太赫兹波的传播方向是所述溶液的厚度方向;和 测量单元,所述测量单元测量透过所述区域的太赫兹波和由所述区域反射的太赫兹波之一的 光谱特性和 在特定频率或特定波长下的太赫兹波強度 中的至少ー项。
12.如权利要求11所述的太赫兹波的特性測量装置,其中,所述光产生单元产生具有两种不同的波长的光来作为激发光。
13.如权利要求11所述的太赫兹波的特性測量装置,其中,所述光产生単元产生飞秒或纳秒脉冲光来作为激发光。
14.如权利要求11所述的太赫兹波的特性測量装置,其中,所述太赫兹波产生単元一并产生具有连续的频率或波长的太赫兹波。
15.一种物质測量装置,所述物质測量装置包含 权利要求11所述的太赫兹波的特性測量装置;和 鉴定装置,所述鉴定装置将已经由所述太赫兹波的特性測量装置测得的来自包含未知物质的溶液的太赫兹波的光谱特性或强度与来自包含已知物质的溶液的太赫兹波的光谱特性或強度比较,并鉴定所述未知物质。
全文摘要
本发明涉及太赫兹波的特性测量方法和装置、物质检测方法和装置。所述太赫兹波的特性测量方法包括在溶液的厚度为10μm~100μm的区域照射太赫兹波以使所述太赫兹波的传播方向为所述溶液的厚度方向,所述溶液包含至少一种类型的待测量的目标物质;和测量透过所述区域的太赫兹波和由所述区域反射的太赫兹波之一的光谱特性和特定频率或特定波长下的强度中的至少一项。
文档编号G01N21/17GK102645407SQ20121002541
公开日2012年8月22日 申请日期2012年2月6日 优先权日2011年2月17日
发明者内田裕久, 北村茂 申请人:爱科来株式会社

  • 专利名称:可靠性评估测试装置、可靠性评估测试系统、接触器以及可靠性评估测试方法技术领域:本发明涉及一种可靠性评估测试装置、可靠性评估测试系统、接触器以及可靠性评估测试方法,更具体地讲,涉及这样一种可靠性评估测试装置、可靠性评估测试系统、接触
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