专利名称：：一种探针卡的制作方法
技术领域：
：本实用新型涉及半导体测试装置，尤其涉及一种设置有可变电阻的探针卡。
背景技术：
：探针卡是一种测试工具，主要对裸芯进行测试，连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向32纳米以下挺进。目前产品讲求轻薄短�。琁C体积越来越小、功能越来越强、管脚数目越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，现阶段覆晶(FlipChip)方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等。上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。探针卡主要用于晶圆验收测试(WaferAcceptableTest,WAT)和可靠性测试，是指半导体在完成所有的工艺之后，另用探针将测试讯号反馈入晶圆的测试结构，对回馈讯号进行分析，从而了解晶圆的电性特性，从而掌握晶圆是否在制作过程中出现缺陷。探针卡的主要目的是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，它是IC制造中对制造成本影响相当大的重要过程之一。目前，为了针对于不同的测试采用不同的探针卡，以满足不同的需求针对于大电流测试，将相应的位置上面焊接上电阻从而保证探针卡不会因为过大的瞬时电流而烧针，另外可以得到正常的I-V(电流-电压)特性曲线。此外，对于小电流测试，为保证测试的精度不受影响，应采用不焊接电阻的探针卡，这样可以得到正常的测试结果。在现有技术中，每年都要购买相应芯片测试的探针卡，针对不同的测量条件，每种探针卡需要购入两个或两个以上，每年购买探针卡的价格在3000美元以上，因而大大增加了成本。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是，提供一种能够同时实现大电流或小电流两种测试功能的探针卡。为解决上述问题，本实用新型提供一种探针卡，包括基板，设置于所述基板上的探针、设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应的金手指，以及设置于金手指上的测试连接点，还包括可变电阻，所述可变电阻连接于所述探针连接点和对应的所述金手指之间。进一步的，所述可变电阻的阻值11000Ω。进一步的，所述基板为圆形。进一步的，所述探针位于所述基板的中央，所述探针连接点围绕所述探针呈圆形排列，所述金手指与所述探针连接点对应呈圆形排列。进一步的，每个所述金手指上设置有两个测试连接点，其中一个测试连接点用于接入信号，其中另一个测试连接点用于输出信号。进一步的，所述基板上还设置有接地连接点。进一步的，所述基板上还设置有卡持机构。进一步的，所述探针的个数为1222个。综上所述，本实用新型中，所述探针卡在探针所对应的探针连接点和金手指之间焊接可变电阻，从而使对于大电流和小电流的不同测试在同一探针卡上实现，既保护了探针卡不被损坏，又不影响测试的精度和结果，并且将功能集于一个探针卡上，无需购置多个探针卡，从而大大节约了购置探针卡的成本。图1为本实用新型一实施例中探针卡的结构示意图。图2为将阻值设置为零时饱和电流特性曲线。图3为将阻值设置为1000Ω时电流-电压特性曲线。具体实施方式为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。为解决上述问题，图1为本实用新型一实施例中探针卡的结构示意图，请参考图1。一种探针卡，包括基板101，设置于所述基板101上的探针103、设置于所述基板101上与所述探针103通过所述基板101内电路相连的探针连接点105，设置于所述基板101上与所述探针连接点105对应的金手指107，以及设置于金手指107上的测试连接点109，还包括可变电阻111，所述可变电阻111连接于所述探针连接点105和对应的所述金手指107之间。本实用新型中，所述探针卡在探针103所对应的探针连接点105和金手指107之间焊接可变电阻111，从而使对于大电流和小电流的不同测试在同一探针卡上实现，既保护了探针卡不被损坏，又不影响测试的精度和结果，并且将功能集于一个探针卡上，无需购置多个探针卡，从而大大节约了购置探针卡的成本。进一步的，所述可变电阻111的阻值11000Ω。本实用新型所述可变电阻111可增加到使用于任何探针卡，并不局限于一种探针卡，例如还可以为其它形式探针卡，而可变电阻111的阻值也可根据实际测试电压和电流限制而改变阻值的范围。在本实施例中，所述基板101为圆形，与所述晶圆大小相同，与晶圆大小相同便于对晶圆进行测试；所述探针103位于所述基板101的中央，所述探针连接点105围绕所述探针103呈圆形排列，所述探针连接点105通过基板101内的电路与探针103相连，所述金手指107与所述探针连接点105对应，所述金手指107呈圆形排列，所述金手指107的一端通过可变电阻111或导线与对应的探针连接点105相连，另一端设有两个测试连接点109，在测试过程中，两个测试连接点109均与所述测试机台信号相连，例如，其中一个测试连接点109a用于接入信号，其中另一个测试连接点109b用于输出信号，从而将晶圆上待测样品微小的测试点转移到的面积较大的探针卡上，从而便于测量；所述基板101上还设置有接地连接点113，所述接地连接点113与测试机上的接地连接点相连，防止探针板发生漏电；所述基板101上还设置有卡持机构115。在测试过程中所述探针卡通过卡持机构115被固定与所述测试机台上。在本实施例中，所述探针103的个数为1222个，具体地，与切割道上面的测试键的个数相等，所述探针连接点105的个数多于探针103的个数，例如为30、48等，便于当基板101内部某个电路出现故障导致对应探针连接点无法使用时，更换至另一探针连接点即可继续使用，从而延长探针卡的使用寿命，所述金手指107与所述探针连接点105相对应，个数相同。本实用新型所述探针卡的使用过程的一实施例为在进行测试前，首先选择连接探针103的探针连接点105，其中导线和可变电阻111将探针连接点105和金手指107连接，将所述测试连接点109与测试机连接；将所述测试探针接触测试样品上测试点；将可变电阻111调制0Ω，通过所述测试机向所述测试样品施加预设定信号，例如电压、电流信号等，测得在各个预设信号下的得到的测试结果。图2为将可变电阻111阻值设置为零时饱和电流特性曲线，从图2中可以看出，增加可变电阻111可以正常进行小电流的测量。本实用新型所述探针卡的使用过程的另一实施例为在进行测试前，首先选择连接探针103的探针连接点105，其中导线和可变电阻111将探针连接点105和金手指107连接，将所述测试连接点109与测试机连接；将所述测试探针接触测试样品上测试点；将可变电阻111调至1000Ω，通过所述测试机向所述测试样品施加预设定信号，例如电压、电流信号等，测得在各个预设信号下的得到的测试结果。图3为将阻值设置为1000Ω时电流-电压特性曲线，，从图3中可以看出，增加可变电阻111可以正常进行大电流的测量。综上所述，本实用新型中，所述探针卡在探针103所对应的探针连接点105和金手指107之间焊接可变电阻111，从而使对于大电流和小电流的不同测试在同一探针卡上实现，既保护了探针卡不被损坏，又不影响测试的精度和结果，并且将功能集于一个探针卡上，无需购置多个探针卡，从而大大节约了购置探针卡的成本。虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属
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中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。权利要求1.一种探针卡，包括基板，设置于所述基板上的探针、设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应的金手指，以及设置于金手指上的测试连接点，其特征在于，还包括可变电阻，所述可变电阻连接于所述探针连接点和对应的所述金手指之间。2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述可变电阻的阻值11000Ω。3.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述基板为圆形。4.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述探针位于所述基板的中央，所述探针连接点围绕所述探针呈圆形排列，所述金手指与所述探针连接点对应呈圆形排列。5.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，每个所述金手指上设置有两个测试连接点，其中一个测试连接点用于接入信号，其中另一个测试连接点用于输出信号。6.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述基板上还设置有接地连接点。7.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述基板上还设置有卡持机构。8.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针的个数为1222个。专利摘要本实用新型一种探针卡，包括基板，设置于所述基板上的探针、设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应的金手指，以及设置于金手指上的测试连接点，还包括可变电阻，所述可变电阻连接于所述探针连接点和对应的所述金手指之间。本实用新型中，所述探针卡在探针所对应的探针连接点和金手指之间焊接可变电阻，从而使对于大电流和小电流的不同测试在同一探针卡上实现，既保护了探针卡不被损坏，又不影响测试的精度和结果，并且将功能集于一个探针卡上，无需购置多个探针卡，从而大大节约了购置探针卡的成本。文档编号G01R1/067GK201845028SQ20102056513公开日2011年5月25日申请日期2010年10月16日优先权日2010年10月16日发明者李爱民,牛刚,赵晓东申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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