专利名称：测试方法和该方法所使用的程序产品的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体器件等电子器件的测试方法和该方法所使用的程序产品。本发明尤其涉及对连接在测试�？樯系亩喔霰徊馄骷胁馐缘姆椒�。
背景技术：
作为以往的测试方法已知有在测试�？榈囊桓龆�(segment)上仅连接一个被测器件来同时测试多个被测器件的方法。在这种情况下，由于能够同时控制多个段，因此能够在一次测试中同时测试多个DUT(Device Under Test 被测器件)。然而，在所述连接中，由于对一个段只能分配一个DUT，从而导致在一次连接中能进行测试的DUT的数量受到限制。另一方面，为了有效地应用测试�？榈耐獠慷俗樱谟没г诓馐阅？榈囊桓龆紊狭�2个以上被测器件的情况下，连接在一个段上的2个以上被测器件不能相互同时测试， 因此需要分开测试次数来进行测试。在这种情况下，在连接于测试�？樯系谋徊馄骷母鍪隙嗍保没岩匀我庋≡癫馐运承颍岩匝≡癫馐源问俚乃承�。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供能够解决上述课题的测试方法和程序产品。该目的能够通过权利要求书中的独立权利要求所记载的技术特征的组合来实现。此外，从属权利要求规定了本发明优选的具体例。为了达到上述目的，根据本发明的第一方式，提供一种对连接在测试模块上的多个被测器件进行测试的测试方法，其特征在于，包括以下步骤(a)至少根据上述测试�？橛肷鲜龆喔霰徊馄骷牧庸叵道辞蟪錾鲜龆喔霰徊馄骷淖楹现械�、理论上能够同时测试的被测器件的组合；和(b)从在上述步骤(a)中求出的上述组合中，依次选择实际上同时测试的被测器件的组合来对上述多个被测器件进行测试。在上述测试方法中，也可以是，通过进行上述步骤(a)和步骤(b)，以比连接在上述测试�？樯系亩喔霰徊馄骷母鍪俚牟馐源问胁馐�。在上述测试方法中，也可以是，上述测试�？榫哂卸喔龆危谏鲜霾街�(a)中，求出上述多个被测器件的组合中的、按上述段不能同时测试的被测器件的组合，根据所述组合来求出理论上能够同时测试的被测器件的组合。在上述测试方法中，也可以是，在上述步骤(b)中，按照能够同时测试的被测器件的个数从少到高的顺序来选择实际上同时测试的被测器件的组合。在上述测试方法中，也可以是，在上述步骤(b)中，按照能够同时测试的被测器件的个数从多到少的顺序来选择实际上同时测试的被测器件的组合。在上述测试方法中，也可以是，在上述步骤(b)中，按照预先分配的被测器件的号码的顺序选择实际上同时测试的被测器件的组合。根据本发明的第二方式，提供一种程序产品，用于测试连接在测试�？樯系亩喔霰徊馄骷涮卣髟谟冢辜扑慊葱邪ㄒ韵虏街璧拇�(a)至少根据上述测试�？橛�
3上述多个被测器件的连接关系来生成上述多个被测器件的组合中的、理论上能够同时测试的被测器件的组合数据；和(b)从在上述步骤(a)中生成的上述组合数据中依次选择实际上同时测试的被测器件的组合，测试上述多个被测器件。
图1是用于说明本发明一个实施方式的测试方法的图。图2是用于说明本发明一个实施方式的程序产品的图。图3是表示本发明一个实施方式的测试�？橛氡徊馄骷牧庸叵档囊焕耐肌Ｍ�4是表示在图3所示的结构中按每个段不能同时测试的被测器件的组合的图。图5是表示在图3所示的结构中理论上能够同时测试的被测器件的组合的图。图6是本发明一个实施方式的测试方法的流程图。
具体实施例方式下面，参照附图，通过本发明的实施方式来说明本发明，但以下的实施方式并不限定权利要求书中的发明，并且，在实施方式中说明的所有特征的组合不一定是发明的解决手段所必需的。图1是用于说明本发明一个实施方式的测试方法的图。在本实施方式中，使用图 1所示的测试装置10来测试多个被测器件(DUT =Device Under Test) 20。具体而言，测试装置10生成预定的测试信号来提供给DUT20，并根据结果信号是否与期待值一致来判断 DUT20是否良好，其中结果信号是用于输出DUT20根据测试信号而运行的结果的信号。本实施方式的测试装置10通过开放式体系结构(Open Architecture)来实现，作为向DUT20提供测试信号的测试�？�150，能够使用基于开放式体系结构的�？�。如图1所示，测试装置10包括系统控制装置100、DUT选择控制装置110、通信网络120、网站控制装置130、连接设置装置140、测试模块150以及负载板160。用户能够根据DUT20外部端子的数量、功能块的数量等DUT20的形态和测试的内容，通过系统控制装置 100任意组合网站控制装置130和测试�？�150来进行使用。系统控制装置100存储测试装置10在DUT20的测试中使用的测试控制程序、测试程序以及测试数据等。系统控制装置100例如能够通过通信网络120与多个网站控制装置 130连接，多个网站控制装置130例如能够通过连接设置装置140与多个测试�？�150连接，此外，多个测试�？�150例如能够通过负载板160与多个DUT20连接。这样，通过设置连接设置装置140和负载板160，能够自由设置和变更网站控制装置130、测试�？�150以及DUT160的相互连接关系。图2是表示图1所示的DUT选择控制装置110的详细结构的图。DUT选择控制装置110是预先安装有用于进行测试方法的预定程序的程序产品。DUT选择控制装置110的主要结构具有对用于测试的处理进行控制的控制部112 ；和用于存储测试所需的数据的存储部113。也可以是，DUT选择控制装置110执行能够通过存储在外部存储装置等中的预定程序或通信网络下载的预定程序，来在测试装置10中执行下面详述的测试方法。此外， 如图1所示，DUT选择控制装置110可以与系统控制装置100分别设置，也可以组装成系统控制装置100或网站控制装置130的一部分。
图2所示的DUT选择控制装置110的控制部112的主要结构具有DUT组合数据生成部112和DUT组合选择部118。此外，DUT选择控制装置110(例如控制部112)也可以附加具有DUT组合数据显示部116。各功能块被连接到存储部113上，据此，能够将通过上述各功能块被处理、测试方法所需的信息写入存储部113中，或者从存储部113中读出上述信息。对各功能块的说明能够参照下述测试方法的说明。在本实施方式的测试方法中，用户对通过预定的连接关系连接在测试�？�150上的多个DUT进行测试。在这种情况下，可以用比连接在测试�？�150上的多个DUT的个数少的测试次数进行测试。即，在η个(η为2以上的整数)DUT连接在测试模块150的情况下， 通过在一次测试中同时测试至少2个DUT，可以用最多(η-1)次的测试来测试所有的DUT。 下面，参照图3 图5，具体说明本实施方式的测试方法。但是，本实施方式的测试方法不限于图3 图5的结构例。图3是表示本实施方式的测试�？橛氡徊馄骷牧庸叵档囊焕耐�。在图3所示的例子中，测试模块150的一例的�？�(例如数字�？�)150a 150d与多个DUT20a 20f相互连接。�？�150a 150d分别具有至少一个运行的最小单位即段，每个段具有图案发生器PG和格式化单元FMT(R)rmat)。此外，各�？�150a 150d分别具有多个外部端子152，通过将该外部端子152与DUT的外部端子22连接起来而在测试�？�150上连接 DUT20a 20d。�？�150a 150c相同(类型A)，能够通过相同的控制方法进行控制。例如，�？�150a 150c能够由同类的同步信号控制。而�？�150d与�？�150a 150c的类型不同(类型B)，可以与�？�150a 150c采用不同的方法(例如不同种类的同步信号)来进行控制。此外，作为结构上的不同，�？�150a 150c分别具有2个段150a_l 150c_2，而�？�150d具有一个段150d-l。在图3所示的例子中，各段150a_l 150d_l分别具有3个外部端子152，在一个外部端子152上仅能够连接DUT的一个外部端子22。此外，在模块与DUT的连接中，不限于在模块的一个外部端子上仅能够连接DUT的一个外部端子的方式，也可以在�？榈囊桓鐾獠慷俗由狭酉嗤蛘卟煌腄UT的多个外部端子，或者还可以在DUT的一个外部端子上连接相同或者不同的�？榈亩喔鐾獠慷俗�。此外，�？榈慕峁埂⒛？榈母鍪�、�？榈耐獠慷俗拥母鍪�、�？榈亩蔚母鍪徒峁�、 DUT的外部端子的个数、对DUT的外部端子所要求的控制方法、�？橛隓UT的连接关系等不限于图3的结构例，能够在技术常识范围内适当设置或者变更。下面具体描述图3所示的�？�150a 150d与DUT20a 20f的连接关系。S卩，在�？�150a中，段150a-l的第一 第三外部端子(从图3的上方开始依次为第一、第二、第三外部端子。以下，在其他的段和DUT中也相同。)分别连接在DUT20a的第一、第二外部端子、 DUT20b的第一外部端子上，此外，段150a-2的第一 第三外部端子分别连接在DUT20b的第二、第三外部端子、DUT20d的第一外部端子上。此外，在�？�150b中，段150b-l的第一、第二外部端子分别连接在DUT20a的第三外部端子、DUT20f的第一外部端子上，段150b-l的第三外部端子不与任何DUT连接，此外，段150b-2的第一 第三外部端子分别连接在DUT20c 的第一、第二外部端子、DUT20d的第二外部端子上。此外，在�？�150c中，段150c-l的第一 第三外部端子分别连接在DUT20c的第三外部端子、DUT20e的第一、第二外部端子上，段150c-2的第一、第二外部端子分别连接在DUT20d的第三外部端子、DUT20f的第二外部端子上，段150c-2的第三外部端子不与任何DUT连接。此外，在�？�150d中，段150d_l 的第一、第二外部端子分别连接在DUT20e的第三外部端子、DUT20f的第三外部端子上，段 150d-l的第三外部端子不与任何DUT连接。这样，通过在一个段上连接2个以上的DUT，能够消除测试�？�150的外部端子 152的闲置，使能同时测试的DUT的个数增加。本实施方式的测试方法首先至少根据测试�？�150与多个DUT20a 20f的连接关系来求出多个DUT的组合中的、理论上能够同时测试的DUT的组合。在此，图4和图5是用于说明在图3所示的结构中求出理论上能够同时测试的被测器件的组合的步骤的图。此外，图6是本实施方式的测试方法的流程图。首先，如图4所示，至少根据图3所示的�？�150a 150d与DUT20a 20f的连接关系来求出按每个段不能同时测试的被测器件的组合(STEP101)。在图4中，& &分别与图3的段150a-l 150d-l对应，DUTl 6分别与图3的DUT20a 20f对应。此夕卜， 图4中的显示“1”表示不能同时测试，显示“0”表示能同时测试。例如，在相当于段150a-l 的&中，DUTl (相当于图3的DUT20a)和DUT2 (相当于图3的DUT20b)中显示有“1”，示出 DUTl和DUT2不能同时测试。从图4的组合数据可知，在图3所示的�？橛隓UT的连接关系中，不能同时测试的组合在S0中为DUTl、0讥2，在S1中为DUT2、0讥4，在S2中为DUTl、0讥6，在S3中为DUT3、 DUT4，在、中为 DUT3、DUT5，在 & 中为 DUT4、DUT6，在 & 中为 DUT5 禾口 DUT6。接着，如图5所示，根据图4的组合数据来求出理论上能够同时测试的DUT的组合(STEP 103)。在图5中，DUTl 6分别与图3的DUT20a 20f对应。此夕卜，图5中的显示“1”表示能够同时测试，显示“0”表示不能同时测试。例如，在图5中，观察DUTl的行， DUT1、DUT3、DUT4、DUT5 中显示 “ 1 ”，示出作为针对 DUTl 的其他的 DUT，DUT3、DUT4、DUT5 在理论上能够同时测试。从图5的组合数据可知，在图3所示的�？橛隓UT的连接关系中，在理论上能够同时测试的DUT的组合，针对DUTl为DUT3、DUT4、DUT5，针对DUT2为DUT3、DUT5、DUT6，针对 DUT3 % DUTU DUT2、DUT6，针对 DUT4 % DUTU DUT5，针对 DUT5 为 DUT1、DUT2、DUT4，针对 DUT6 为 DUT2、DUT3。这样的图4和图5所示的组合数据能够由例如DUT组合数据生成部114(参照图 2)生成。此外，所生成的组合数据可以预先存储到存储部113中，此外，也可以通过DUT组合数据显示部116(参照图幻显示到显示器等中，以使用户能够辨识。在上述实施例中，在生成图4的组合数据(即，按段表示的、不能同时测试的DUT 的组合数据)之后，根据所述的组合数据生成图5的组合数据，但本实施方式不限于此。例如，也可以是，DUT组合数据生成部114至少根据图3所示的�？�150a 150d与DUT20a 20f的连接关系直接生成图5的组合数据，由DUT组合数据显示部116仅显示图5的组合数据。此外，组合数据的显示方式不限于图4和图5所示的例子。接着，从图5所示的DUT的组合中依次选择实际上同时测试的DUT的组合，进行多个DUT的测试(STEP105)。S卩，根据图5的DUT的组合，在考虑了能否对多个DUT的全部进行测试之后，依次选择实际上要同时测试的DUT的组合，按照所述顺序进行多个DUT的测
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所述步骤能够由DUT组合选择部118 (参照图幻来进行。例如DUT组合选择部 118按照预先决定的规则选择要测试的DUT顺序。作为所述选择方法例如具有以预先分配的DUT的号码的顺序进行选择的方法(以下也称为选择方法(A))；以能够同时测试的DUT 的个数从少到多的顺序进行选择的方法(以下也称为选择方法(B))；以及以能够同时测试的DUT的个数从多到少的顺序进行选择的方法(以下也称为选择方法(C))。以下将上述选择方法㈧ (C)应用于图5的DUT的组合中。应用选择方法㈧时，首先按照DUT号码的顺序，观察DUTl。如图5所示那样，针对DUTl理论上能够同时测试DUT3、DUT4、DUT5，按照DUT号码的顺序，观察DUT3。如图5所示那样，针对DUT3不能同时测试DOT4、DUT5，因此可知DUT1、DUT3实际上能够同时测试。接着，按照DUT号码的顺序，观察DUT2。如图5所示那样，针对DUT2理论上能够同时测试DUT3、 DUT5，但DUT3已完成测试，因此可知DUT2、DUT5实际上能够同时测试。接着，按照DUT号码的顺序，观察DOT4。如图5所示那样，针对DOT4理论上能够同时测试DUT1、DUT5，但DUT1、 DUT5均已完成测试，因此可知实际上仅能够同时测试DUT4。最后，测试最终剩余的DUT6。这样，在使用了选择方法㈧的情况下，第一次DUTl、DUT3被测试，第二次DUT2、 DUT5被测试，第三次DUT4被测试，第四次DUT6被测试。S卩，在图3所示的�？橛隓UT的连接关系中，在使用了选择方法(A)的情况下，能够通过共计4次的测试来测试所有的DUT。接着，在应用选择方法⑶时，首先从图5可知，观察能够同时测试的DUT的个数最少的DUT6。如图5所示，针对DUT6理论上能够同时测试DUT2、DUT3，DUT2、DUT3彼此在理论上也能够同时测试，因此可知DUT2、DUT3、DUT6实际上能够同时测试。接着，在剩下的 DUT1、DUT4、DUT5中，能够同时测试的DUT的个数均相同，因此例如观察DUT1。如图5所示， 针对DUTl理论上能够同时测试DUT4、DUT5，DUT4、DUT5彼此在理论上也能够同时测试，因此可知DUT1、DUT4、DUT5实际上能够同时测试。这样，在应用了选择方法(B)的情况下，第一次DUT2、DUT3、DUT6被测试，第二次 DUTU DUT4、DUT5被测试。S卩，在图3所示的模块与DUT的连接关系中，在应用了选择方法
(B)的情况下，能够通过共计2次的测试来测试所有的DUT。接着，应用选择方法(C)时，首先从图5可知那样，能够同时测试的DUT的个数最多的是DUTl DUT5，例如观察DUTl。如图5所示，针对DUTl理论上能够同时测试DUT4、 DUT5，DUT4、DUT5彼此在理论上也能够同时测试，因此可知DUT1、DUT4、DUT5实际上能够同时测试。接着，在剩下的DUT2、DUT3、DUT6中，能够同时测试的DUT的个数较多的是DUT2、 DUT3，例如观察DUT2。如图5所示，针对DUT2理论上能够同时测试DUT3、DUT5、DUT6，但DUT5 已完成测试且DUT3、DUT6彼此在理论上能够同时进行测试，因此可知DUT2、DUT3、DUT6实际上能够同时测试。这样，在应用了选择方法(C)的情况下，第一次DUTl、DUT4、DUT5被测试，第二次 DUT2、DUT3、DUT6被测试。S卩，在图3所示的�？橛隓UT的连接关系中，在应用了选择方法
(C)的情况下，能够通过共计2次的测试来测试所有的DUT。如上所述可知，在图3所示的�？橛隓UT的连接关系中，选择方法⑶或(C)的测试次数比(A)少2次。例如，也可以是，DUT组合选择部118根据上述选择方法(A) (C)， 分别依次选择实际上同时测试的DUT的组合，从所述选择方法中选择测试次数最少的选择方法。或者，还可以是，按照�？橛隓UT的多种连接关系，将使用了选择方法(A) (C)的情况下的测试次数预先存储到存储部113中，根据存储于存储部113中的数据预先决定测试次数最少的选择方法，执行所述的选择方法。根据本实施方式，即使在用户任意连接�？楹虳UT的情况下，特别是在一个段上连接了 2个以上DUT的情况下，也能够尽量减少测试次数，效率良好地进行多个DUT的测试。即，能够在�？橛隓UT的一次连接中，尽量增大能够测试的DUT的数量，并且缩短每一次连接的测试时间。此外，求出在理论上测试次数为最少那样的DUT的测试顺序的解，在连接到测试�？樯系腄UT的个数增多时不可能实现或者要花费大量的时间，但在本实施方式的测试方法中，尽管DUT的测试顺序(组合)的计算所花费的时间较短且容易进行，但能够有效地减少测试次数。因此，能够大幅缩短用于准备DUT的测试所花费的时间和实际测试时间。此外，在上述图3的结构例中，作为测试�？�150的例子示出了以下例子�？榫哂卸�150a-l 150d-l，对各段分配多个外部端子152，在一个外部端子152上仅能连接DUT 的一个外部端子22，但测试�？�150的实施方式不限于此。例如，测试�？�150也可以具有作为运行的最小单位即段的外部端子。在这种情况下，测试�？�150也可以具有多个外部端子(广义上是“段”)，可以使一个外部端子共用相同或不同的DUT的2个以上的外部端子。即，也可以将本实施方式应用于“资源共享”的方式中，该“资源共享”是以DUT的多个外部端子共用安装在测试模块的外部端子或负载板上的电路的外部端子。通过上述发明的实施方式所说明的实施例和应用例能够根据用途适当进行组合、 变更或者改良来使用，本发明不限于上述实施方式的记载。从本申请权利要求书的记载可知实施了这样的组合、变更或改良后的方式也应包含在本发明的技术范围内。
权利要求
1.一种测试方法，用于测试连接在测试�？樯系亩喔霰徊馄骷涮卣髟谟冢ㄒ韵虏街�(a)至少根据上述测试�？橛肷鲜龆喔霰徊馄骷牧庸叵道辞蟪錾鲜龆喔霰徊馄骷淖楹现械�、理论上能够同时测试的被测器件的组合；和(b)从按上述步骤(a)求出的上述组合中依次选择实际上同时测试的被测器件的组合来对上述多个被测器件进行测试。
2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，通过进行上述步骤(a)和上述步骤(b)来以比连接在上述测试�？樯系亩喔霰徊馄骷母鍪俚牟馐源问胁馐�。
3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，上述测试模块具有多个段，在上述步骤(a)中，求出上述多个被测器件的组合中的、按上述段不能同时测试的被测器件的组合，根据该组合来求出理论上能够同时测试的被测器件的组合。
4.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在上述步骤(b)中，按照预先分配的被测器件号码的顺序来选择实际上同时测试的被测器件的组合。
5.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在上述步骤(b)中，按照能够同时测试的被测器件的个数从少到多的顺序来选择实际上同时测试的被测器件的组合。
6.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在上述步骤(b)中，按照能够同时测试的被测器件的个数从多到少的顺序来选择实际上同时测试的被测器件的组合。
7.一种程序产品，用于对连接在测试�？樯系亩喔霰徊馄骷胁馐裕涮卣髟谟冢辜扑慊葱邪韵虏街璧某绦�(a)至少根据上述测试�？橛肷鲜龆喔霰徊馄骷牧庸叵道瓷缮鲜龆喔霰徊馄骷淖楹现械�、理论上能够同时测试的被测器件的组合数据；和(b)从按上述步骤(a)生成的上述组合数据中依次选择实际上同时测试的被测器件的组合来对上述多个被测器件进行测试。
全文摘要
本发明提供一种测试方法，对连接在测试�？樯系亩喔霰徊馄骷胁馐裕浒ㄒ韵虏街�(a)至少根据所述测试�？橛胨龆喔霰徊馄骷牧庸叵道辞蟪龆喔霰徊馄骷淖楹现械�、理论上能够同时测试的被测器件的组合；和(b)从用所述步骤(a)求出的所述组合中依次选择实际上同时测试的被测器件的组合来对所述多个被测器件进行测试。
文档编号G01R31/28GK102224428SQ20098014734
公开日2011年10月19日 申请日期2009年10月23日 优先权日2008年11月26日
发明者前田裕纪 申请人:株式会社爱德万测试
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
